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기판 상에 일정한 간격을 두고 형성되고, 입력부분과 출력부분을 갖는 전송선들; 상기 전송선들의 양측에 형성되는 접지선; 상기 기판상에 형성되어 단락 동작시 전송선을 전기적으로 연결 시켜주는 스위칭부를 포함하는 유전체 이동판; 상기 전송선들의 중앙에 형성된 자기유지 중앙지지대를 포함하여, 상기 유전체 이동판을 기판에 지지하기 위한 지지대; 및 상기 유전체이동판 상부에 위치하며 상기 접지선에 대해 구동전극으로 작용하는 상부전극들을 포함하되, 상기 상부전극 및 상기 접지선에 인가되는 전압 차에 의해 발생되는 상기 유전체 이동판의 휨에 의해서 상기 스위칭부가 동작하여 상기 전송선들을 스위칭하는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세전자기계적 스위치
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제 1 항에 있어서, 상기 전송선들은 입력과 출력 부분 사이에 자기유지 중앙지지대로 사용되는 개방된 전송선 부분을 구비하는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세전자기계적 스위치
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제 1 항에 있어서, 상기 지지대들은 모서리 지지대들, 전극 지지대들을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세전자기계적 스위치
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제 3 항에 있어서, 상기 모서리지지대들과 유전체이동판을 연결하는 부분에는 파도모양 패턴들이 삽입되는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세전자기계적 스위치
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제 1 항에 있어서, 상기 자기유지 중앙지지대와 유전체이동판을 연결하는 부분에는 사각형모양 패턴들이 삽입되는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세전자기계적 스위치
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제 1 항에 있어서, 상기 전극지지대들과 유전체이동판을 연결하는 부분에는 바둑판모양 패턴들이 삽입되는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세전자기계적 스위치
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기판 상에 절연체로 박막을 형성한 후 소정의 마스크를 이용하여 패터닝하는 단계; 패터닝된 일부분에 전송선들 및 접지선들을 형성하는 단계; 상기 전송선들 및 접지선들 상에 희생층을 매립하고 패터닝하여 자기유지 중앙지지대를 포함하는 지지대들을 형성하는 단계; 상기 희생층 상부에, 단락 동작시 전송선을 전기적으로 연결 시켜주는 금속으로 된 스위칭부를 형성하는 단계; 상기 지지대들에 의해 상기 전송선과 접지선이 스위칭부와 상부전극에 대해 일정 간격 유지 할 수 있게 해주는 유전체이동판을 형성하는 단계; 상기 유전체이동판 상에 상기 접지선에 대해 구동전극으로 작용하는 상부전극들 형성하는 단계; 및 상기 유전체이동판과 전송선사이에 형성된 희생층을 제거하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세전자기계적 스위치의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 지지대들은 모서리 지지대들, 전극 지지대들을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세전자기계적 스위치의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 전송선들을 형성할 때 자기유지 중앙지지대를 형성하기 위해 입력 전송선과 출력 전송선 사이에 지지대를 삽입하는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세전자기계적 스위치의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 접지선들을 형성할 때 모서리지지대들을 형성하기 위한 접지선들과 절연된 모서리지지부들이 접지선들 내에 형성되는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세전자기계적 스위치의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 희생층 매립 후 자기유지 중앙지지대를 전송신호의 진행방향과 동일하게 형성하는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세전자기계적 스위치의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 희생층 매립 후 상기 유전체이동판의 모서리 부분에 모서리지지대들을 형성하는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세전자기계적 스위치의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 희생층 매립 후 상기 유전체이동판의 양쪽 옆에 정전기력을 가하기 위해 전극지지대들을 형성하는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대 미세전자기계적 스위치의 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 희생층 상에 모서리지지대들과 유전체이동판을 연결하는 부분에 파도모양 패턴들을 형성하는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대 미세전자기계적 스위치의 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 희생층 상에 자기유지 중앙지지대와 유전체이동판을 연결하는 부분에 직사각형 패턴들을 형성하는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대 미세전자기계적 스위치의 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 희생층 상에 전극지지대들과 유전체이동판을 연결하는 부분에 형성된 바둑판모양 패턴들을 형성하는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대 미세전자기계적 스위치의 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 희생층 상에 전극지지대들과 유전체이동판을 연결하는 부분에 형성된 바둑판모양 패턴들을 형성하는 것을 특징으로 하는 자기유지 중앙지지대 미세전자기계적 스위치의 제조방법
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