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ＭＥＭＳ 액츄에이터

  • 기술번호 : KST2015097006
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 전자기계 시스템 액츄에이터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 압전 캔틸레버 액츄에이터와 콤브 액츄에이터가 결합되어 2축 구동을 하는 마이크로 전자기계 시스템 액츄에이터를 제공한다. 본 액츄에이터에 의하면, 가동 콤브가 압전물질로 구성되어 있어 평면 액츄에이션뿐만 아니라, z축으로의 포커싱 액츄에이션도 병행가능하여 초박형 광 디스크 드라이브의 구동장치에 사용가능하다. 콤브 액츄에이터, 압전 액츄에이터, 압전 단결정 액츄에이터
Int. CL G11B 9/14 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020040107033 (2004.12.16)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0639918-0000 (2006.10.24)
공개번호/일자 10-2006-0068370 (2006.06.21) 문서열기
공고번호/일자 (20061101) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.12.16)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기출 대한민국 대전 중구
2 김상협 대한민국 대전 서구
3 김혜진 대한민국 대전 유성구
4 조두희 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2004-0593891-25
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.03.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.04.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0024081-03
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.06.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0339333-06
5 의견서
Written Opinion		 2006.08.10 수리 (Accepted) 1-1-2006-0571558-01
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.08.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0571554-18
7 등록결정서
Decision to grant		 2006.10.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0600025-05
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 고정된 고정 콤브; 압전 물질층을 적층형태로 포함하며, 상기 기판으로부터 분리되어 배치되는 가동 콤브;상기 가동 콤브를 이동 가능하게 지지하기 위해, 상기 가동 콤브와 상기 기판 상에 연결된 스프링을 구비하며, 상기 가동 콤브는,압전 현상에 의해 수직으로 운동하고, 상기 고정 콤브와의 정전기력에 의해 수평으로 운동하는 MEMS 액츄에이터
2 2
제1 항에 있어서, 상기 가동 콤브는 금속 코팅막들과 이들 사이에 개재된 상기 압전 물질을 포함하는 구조인 MEMS 액츄에이터
3 3
제1 항에 있어서, 상기 고정 콤브를 상기 기판 상에 고정시키는 포스트를 더 포함하는 MEMS 액츄에이터
4 4
제3 항에 있어서, 상기 고정 콤브 및 가동 콤브는 상기 압전물질층을 포함하는 MEMS 액츄에이터
5 5
제1 항에 있어서, 상기 압전물질층은 압전 세라믹층 또는 압전 단결정층인 MEMS 액츄에이터
6 6
제5 항에 있어서, 상기 압전세라믹층은 PZT 세라믹 또는 PMN-PT 세라믹, PZN-PT 세라믹이고, 상기 압전 단결정층은 PMN-PT 단결정 또는 PZN-PT 단결정인 MEMS 액츄에이터
7 7
제1 항에 있어서, 상기 가동 콤브를 지지하는 스프링은 상기 가동 콤브의 일단부에만 형성된 MEMS 액츄에이터
8 7
제1 항에 있어서, 상기 가동 콤브를 지지하는 스프링은 상기 가동 콤브의 일단부에만 형성된 MEMS 액츄에이터
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP01672654 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP01672654 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 JP18174688 JP 일본 FAMILY
4 TW286122 TW 대만 FAMILY
5 US07242129 US 미국 FAMILY
6 US20060131997 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 AT370505 AT 오스트리아 DOCDBFAMILY
2 DE602005002010 DE 독일 DOCDBFAMILY
3 DE602005002010 DE 독일 DOCDBFAMILY
4 EP1672654 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
5 EP1672654 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
6 JP2006174688 JP 일본 DOCDBFAMILY
7 SG123655 SG 싱가포르 DOCDBFAMILY
8 TW200621620 TW 대만 DOCDBFAMILY
9 TW286122 TW 대만 DOCDBFAMILY
10 TWI286122 TW 대만 DOCDBFAMILY
11 US2006131997 US 미국 DOCDBFAMILY
12 US7242129 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.