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메쉬 게이트를 구비한 삼극형 전계 방출 소자

  • 기술번호 : KST2015097122
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전계 방출 소자에 관한 것으로, 특히 메쉬 게이트를 구비한 삼극형 전계 방출 소자에 관한 것이다. 본 발명은 탄소나노튜브를 이용하되, 구동 전압의 증가를 방지하면서 누설 전류 특성 및 전자빔의 집속도를 확보할 수 있는 삼극형 전계 방출 소자 및 그를 이용한 전계 방출 디스플레이를 제공하는데 그 목적이 있다. 탄소나노튜브를 이용한 전계 방출 소자의 경우, 동작 전압을 낮게 가져가기 위해서는 삼극형 전극 구조를 적용해야 한다. 이때 추출 전극이 전자 방출원에 대하여 어떠한 구조를 가지는 지에 따라 동작 특성이 크게 달라진다. 본 발명에서는 추출 전극이 그 상부에 제공되며, 탄소나노튜브 혼합물 어레이의 위치에 대응하여 다수의 구멍을 구비하되, 구멍 상단부의 크기가 하단부의 크기보다 작은 절연성 메쉬 게이트 판을 이용하여 방출된 전자빔의 집속도를 크게 높이고, 누설 전류를 억제한다. 한편, 본 발명은 보조 전극을 추가하거나 각 전극의 형태를 최적화하여 전자빔의 집속도 및 누설 전류 특성을 최적화할 수 있다. 삼극형 전계 방출 소자, 탄소나노튜브, 메쉬 게이트 판, 구멍, 전자빔 집속
Int. CL C01B 31/02 (2011.01) H01J 1/30 (2011.01)
CPC H01J 1/304(2013.01)
출원번호/일자 1020030014782 (2003.03.10)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0592600-0000 (2006.06.15)
공개번호/일자 10-2004-0051469 (2004.06.18) 문서열기
공고번호/일자 (20060626) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020020078885   |   2002.12.11
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.03.10)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황치선 대한민국 대전광역시 대덕구
2 송윤호 대한민국 대전광역시 서구
3 김봉철 대한민국 대전광역시 유성구
4 정중희 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신성특허법인(유한) 대한민국 서울특별시 송파구 중대로 ***, ID타워 ***호 (가락동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.03.10 수리 (Accepted) 1-1-2003-0082978-12
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.12.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.01.18 수리 (Accepted) 9-1-2005-0002442-32
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0090104-05
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2005.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2005-0214113-34
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.05.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0276096-87
7 의견서
Written Opinion		 2005.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2005-0276098-78
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2005.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0462656-55
9 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2005.11.17 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2005-0027890-34
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.12.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0670749-71
11 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2006-0149536-64
12 의견서
Written Opinion		 2006.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0225061-40
13 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.03.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0225060-05
14 등록결정서
Decision to grant		 2006.06.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0328622-38
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
탄소나노튜브를 이용한 삼극형 전계 방출 소자에 있어서,절연성 기판 상에 제공되는 하부 전극;상기 도전층 상에 제공되는 탄소나노튜브 혼합물 어레이;상기 탄소나노튜브 혼합물 어레이의 위치에 대응하여 다수의 구멍을 구비하며, 상기 구멍 상단부의 크기가 하단부의 크기보다 작은 절연성 메쉬 게이트 판;상기 절연성 메쉬 게이트 판 상에 제공되는 추출 전극;상기 추출 전극과 일정 간격만큼 이격되어 제공되는 상부 전극;상기 추출 전극과 상기 상부 전극 사이에 제공되는 제1 스페이서; 및상기 절연성 메쉬 게이트 판 하부에 제공되는 제1 보조 전극을 구비하는 삼극형 전계 방출 소자
3 3
제2항에 있어서, 상기 절연성 메쉬 게이트 판의 상기 구멍 측면에 제공되는 제2 보조 전극을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 삼극형 전계 방출 소자
4 4
제3항에 있어서,상기 제2 보조 전극은 상기 구멍의 하단부 일부에 제공되는 것을 특징으로 하는 삼극형 전계 방출 소자
5 5
제3항에 있어서, 상기 제1 및 제2 보조 전극은 상기 하부 전극에 인가되는 전압과 동일한 전압을 인가 받는 것을 특징으로 하는 삼극형 전계 방출 소자
6 6
제2항에 있어서, 상기 하부 전극과 상기 제1 보조 전극 사이를 이격시키기 위하여 상기 절연성 메쉬 게이트 판 하부에 제공되는 제2 스페이서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 삼극형 전계 방출 소자
7 7
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8 7
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1 JP2004193105 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP3769566 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 US2004115870 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US6958499 US 미국 DOCDBFAMILY
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