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요약 |
나노홀 어레이를 포함하는 표면 강화 라만 분광용 기판 및 그 제조방법이 개시된다. 표면 강화 라만 분광용 기판은 베이스층 상에 제1홀어레이를 가지는 제1금속층을 형성한 후 그 표면에 제2홀어레이를 가지는 제2금속층을 표면 화학 반응을 통해 성장시킨다. 이러한 제2금속층에 형성된 제2홀어레이가 최종적으로 얻어지는 제2홀어레이가 되며, 이는 제1홀어레이의 각 홀 보다 작은 사이즈의 홀들로 이루어진다. 이와 같이 표면 화학 반응을 이용할 경우, 제2홀어레이의 각 홀의 크기와 제2홀어레이를 형성하는 금속층의 표면 거칠기, 표면을 형성하는 입자들의 크기 등이 화학 반응 조건에 따라서 조절될 수 있어 표면증강라만용 기판을 형성하기가 용이하다. 또한, 저비용으로 재현성 높은 나노홀 어레이를 가지는 표면 강화 라만 분광용 기판을 제조할 수 있다.
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Int. CL |
G01J 3/44 (2006.01) G01N 21/65 (2006.01)
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CPC |
G01J 3/4412(2013.01) G01J 3/4412(2013.01) G01J 3/4412(2013.01)
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출원번호/일자 |
1020130123304
(2013.10.16)
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출원인 |
한국전자통신연구원
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등록번호/일자 |
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공개번호/일자 |
10-2015-0044206
(2015.04.24)
문서열기
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공고번호/일자 |
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국제출원번호/일자 |
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국제공개번호/일자 |
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우선권정보 |
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법적상태 |
공개 |
심사진행상태 |
수리 |
심판사항 |
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구분 |
신규 |
원출원번호/일자 |
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관련 출원번호 |
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심사청구여부/일자 |
N
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심사청구항수 |
1 |