광섬유 축과 각도를 이루는 광도파로를 갖는 광소자의 수동정렬방법에 있어서,

솔더를 이용한 플립칩 접합을 위해 솔더범프 패드가 형성되고, 기판의 정렬부호와 V-홈이 한번의 식각에 의해 동시에 형성된 수동정렬용 기판을 제조하는 제 1 과정과;

상기 기판에 형성된 솔더범프 패드 패턴에 상응하게 광소자에 형성된 솔더범프 패드 패턴을 접합시키고, 그 접합시 광소자 길이 편차에서 기인하는 광도파로의 위치 이탈을 보정하기 위한 광소자의 정렬부호와 상기 기판의 정렬부호를 일치시키는 제 2 과정과; 및

상기 기판 위에 접합된 광소자의 도파로와 광섬유 코어를 일치시키는 제 3 과정으로 이루어져, 마스크 정렬 오차를 제거하고 광도파로의 각도와 광소자의 길이 오차에 무관하게 광소자와 광섬유를 수동정렬하는 것을 특징으로 하는 광섬유와 광소자의 수동정렬 방법

제 1 항에 있어서,

상기 제 1 과정은

기판(1) 위에 실리콘 질화물(2)을 전면 증착하는 제 1 공정과;

상기 실리콘 질화물(2) 위에 포토레지스트(5)를 도포 및 노광하여 패턴을 정의한 개구를 만든 후 전면에 언더 범프 메털러지(UBM)를 증착 후 리프트-오프 공정에 의해 솔더 접착이 가능한 패드(3)와 정렬부호 식각 방지막(4)을 형성하는 제 2 공정과;

그 전면에 실리콘 질화물(2a)을 증착하고 그 위에 포토레지스트(9)를 도포 및 노광하여 패턴을 정의한 후 그 정의된 부분의 실리콘 질화물을 건식식각하여 재정의된 UBM 패드(3a), 기판 정렬부호(6), 및 V-홈(7)을 위한 각각의 개구를 형성하는 제 3 공정과;

상기 포토레지스트(9)를 제거한 후 기판 정렬부호(6)와 상기 V-홈 형성용 개구에 V-홈(7)을 한번의 식각공정으로 동시에 형성하는 제 4 공정과;

이 결과물 위에 후막 포토레지스트(10)를 도포 및 노광하여 상기 UBM 패드(3a) 개구에 리플로우 공정에 의한 솔더범프(12)를 형성하는 제 5 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광섬유와 광소자의 수동정렬 방법

제 1 항에 있어서,

상기 광소자의 정렬부호는 플립칩 접합된 광소자의 광도파로에서 나오는 광이 광섬유 축과 기울어진 각도를 고려하여 형성하는 것을 특징으로 하는 광섬유와 광소자의 수동정렬 방법

제 1 항에 있어서,

상기 광소자의 정확한 절단 크기를 알기 위해 광소자 길이 편차 교정부호(22)는 광소자의 절단면(28) 결정방향과 수직하게 일정한 간격으로 형성하는 것을 특징으로 하는 광섬유와 광소자의 수동정렬 방법

제 4 항에 있어서,

광소자 절단 오차에 따른 실제 길이를 쉽게 측정하도록 광소자의 설계된 크기를 나타내는 원점(23)을 다른 패턴과 구별되도록 형성하는 것을 특징으로 하는 광섬유와 광소자의 수동정렬 방법

제 1 항에 있어서,

상기 제조된 수동정렬용 기판에 광소자를 플립칩 접합시 회전 정렬 오차의 정확한 교정을 위하여 정렬부호를 그 기판과 광소자에 각각 두 개 이상 형성하는 것을 특징으로 하는 광섬유와 광소자의 수동정렬 방법