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DNA 칩 혹은 단백질 칩을 제조하기 위한 목적으로 상부기판과 하부기판 사이에 액정패널을 포함하는 프로그래머블 마스크에 있어서, 상기 액정패널의 각 화소를 이루는 액정은 콘트라스트 비를 향상시키기 위해 수직 배향되고, 수직 배향모드로 구동되는 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크
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제 1 항에 있어서, 상기 수직 배향은 UV광에 내성을 갖는 실리콘 산화막 또는 이온빔을 조사하여 액정의 수직 배향 효과를 갖도록 한 다이아몬드 라이크 카본(DLC)을 사용하는 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크
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DNA 칩 혹은 단백질 칩을 제조하기 위한 목적으로 상부기판과 하부기판 사이에 액정패널을 포함하는 프로그래머블 마스크에 있어서, 상기 액정패널의 각 화소를 이루는 액정은 콘트라스트 비를 향상시키기 위해 스페이서 없이 상기 액정패널의 외곽에 형성된 패널액정 실로 셀 갭을 유지하는 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크
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제 3 항에 있어서, 상기 액정패널의 셀 갭을 유지하기 위해 각 화소를 이루는 액정 속에 적어도 하나의 실 프린트가 형성된 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 액정패널의 각 화소를 이루는 액정에는 외부의 평행광 노광장치를 이용하여 평행한 UV광을 입사하는 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크
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제 5 항에 있어서, 상기 평행광 노광장치는, 임의의 파장을 갖는 UV광을 발생시키기 위한 광원; 상기 광원의 일측에 설치되고, 상기 광원의 일측에서 발생된 UV광을 집광시켜 타측으로 발산하기 위한 집광 반사경; 및 상기 광원으로부터 발생된 UV광을 수직으로 반사시켜 비평행광을 소거하기 위한 복수개의 UV반사경을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 각 화소를 이루는 액정부위에 각각 대응되도록 상기 액정패널의 상부측에 설치되고, 상기 액정부위에 입사된 UV광을 집광시키기 위한 마이크로 렌즈를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 하나의 항의 프로그래머블 마스크를 사용하여 상기 프로그래머블 마스크의 패턴에 따른 생체분자 어레이를 형성하는 것을 특징으로 하는 생체분자 어레이 형성방법
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 하나의 항의 프로그래머블 마스크를 사용하여 상기 프로그래머블 마스크의 패턴에 따른 생체분자 어레이를 형성하는 것을 특징으로 하는 생체분자 어레이 형성방법
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