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도전성 박막판을 준비하는 단계; 제1 구멍을 갖는 유리판을 준비하는 단계; 상기 도전성 박막판의 하면 또는 상면과 유리판을 접합하는 단계; 상기 제1 구멍에 의해 노출된 도전성 박막판에 제2 구멍을 형성하여 마이크로 렌즈를 마련하는 단계; 및 상기 마련된 마이크로 렌즈들을 복수개 적층 접합하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 칼럼의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 도전성 박막판과 유리판을 접합할 때 폴리실리콘층을 이용하여 아노딕 접합하는 것을 특징으로 하는 마이크로 칼럼의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 도전성 박막판은 금속 박막판 또는 불순물이 도핑된 반도체 기판인 것을 특징으로 하는 마이크로 칼럼의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 제2 구멍은 제1 구멍보다 직경을 작게 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 칼럼의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 유리판에 제1 구멍을 복수개 마련하고, 상기 도전성 박막판에 제2 구멍을 복수개 형성하여 멀티 칼럼을 구현하는 것을 특징으로 하는 마이크로 칼럼의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 유리판에 제1 구멍을 복수개 마련하고, 상기 도전성 박막판에 제2 구멍을 복수개 형성하여 멀티 칼럼을 구현하는 것을 특징으로 하는 마이크로 칼럼의 제조방법
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