1 |
1
지지 박막; 및상기 지지 박막 상에 제공된 수소화된 비정질 실리콘(a-Si:H) 박막을 포함하는 양성자 발생용 타겟 물질
|
2 |
2
제 1항에 있어서,상기 수소화된 비정질 실리콘 박막은 2~40% 범위의 수소 원자 함량을 갖는 것을 특징으로 하는 양성자 발생용 타겟 물질
|
3 |
3
제 1항에 있어서,상기 수소화된 비정질 실리콘 박막은 화학적 기상 증착 방식에 의해 상기 지지 박막 상에 제공되는 것을 특징으로 하는 양성자 발생용 타겟 물질
|
4 |
4
제 1항에 있어서,상기 지지 박막은 전도성을 갖는 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 양성자 발생용 타겟 물질
|
5 |
5
제 4항에 있어서,상기 전도성을 갖는 물질은 금 또는 알루미늄을 포함하는 것을 특징으로 하는 양성자 발생용 타겟 물질
|
6 |
6
지지 박막을 준비하는 단계; 및상기 지지 박막 상에 수소화된 비정질 실리콘 박막을 형성하는 단계를 포함하는 양성자 발생용 타겟 물질의 제조 방법
|
7 |
7
제 6항에 있어서,상기 수소화된 비정질 실리콘 박막을 형성하는 단계는 화학적 기상 증착 방식을 이용하는 것을 특징으로 하는 양성자 발생용 타겟 물질의 제조 방법
|
8 |
8
제 7항에 있어서,상기 수소화된 비정질 실리콘 박막을 형성하는 단계는 플라즈마 강화 화학적 기상 증착 방식을 이용하는 것을 특징으로 하는 양성자 발생용 타겟 물질의 제조 방법
|
9 |
9
제 7항에 있어서,상기 화학적 기상 증착 방식의 증착 조건에 의해 상기 수소화된 비정질 실리콘 박막의 수소 원자 함량이 조절되는 것을 특징으로 하는 양성자 발생용 타겟 물질의 제조 방법
|
10 |
10
제 9항에 있어서,상기 증착 조건은 가스의 조성, 압력, 증착 온도 및 공정 시간을 포함하는 것을 특징으로 하는 양성자 발생용 타겟 물질의 제조 방법
|
11 |
11
제 6항에 있어서,상기 지지 박막은 전도성을 갖는 물질을 포함하도록 준비되는 것을 특징으로 하는 양성자 발생용 타겟 물질의 제조 방법
|
12 |
12
제 11항에 있어서,상기 전도성 갖는 물질은 금 또는 알루미늄을 포함하는 것을 특징으로 하는 양성자 발생용 타겟 물질의 제조 방법
|
13 |
13
환자가 위치할 수 있는 내부 공간을 갖는 원통형의 보어 부재;상기 보어 부재의 내측면에 제공된 양성자 발생용 타겟 물질; 및상기 양성자 발생용 타겟 물질로부터 양성자를 발생시켜 상기 환자의 종양 부위로 투사하기 위해, 상기 양성자 발생용 타겟 물질로 레이저 빔을 제공하는 레이저를 포함하되,상기 양성자 발생용 타겟 물질은 지지 박막 및 상기 지지 박막 상에 제공된 수소화된 비정질 실리콘 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 양성자를 이용한 치료 장치
|
14 |
14
제 13항에 있어서,상기 수소화된 비정질 실리콘 박막은 상기 환자의 상기 종양 부위의 치료에 필요한 특정 %의 수소 원자 함량을 갖는 것을 특징으로 하는 양성자를 이용한 치료 장치
|
15 |
15
제 13항에 있어서,상기 수소화된 비정질 실리콘 박막은 화학적 기상 증착 방식에 의해 상기 지지 박막 상에 제공되는 것을 특징으로 하는 양성자를 이용한 치료 장치
|
16 |
16
제 13항에 있어서,상기 지지 박막은 전도성을 갖는 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 양성자를 이용한 치료 장치
|
17 |
17
제 16항에 있어서,상기 전도성을 갖는 물질은 금 또는 알루미늄을 포함하는 것을 특징으로 하는 양성자를 이용한 치료 장치
|
18 |
18
제 13항에 있어서,상기 보어 부재의 상기 내부 공간은 진공 상태로 유지되는 것을 특징으로 하는 양성자를 이용한 치료 장치
|
19 |
19
제 13항에 있어서,상기 레이저는 극초단파 레이저인 것을 특징으로 하는 양성자를 이용한 치료 장치
|