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DBC 기판 및 전력 반도체 모듈

  • 기술번호 : KST2015097822
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 실리콘 소자, 실리콘카바이드 (SiC) 소자 및 갈륨나이트라이드 (GaN) 소자 등 주로 전력 소자로 사용되는 반도체 소자의 기판에 비아를 직접 형성하여 열적 신뢰성을 향상시킨 DBC 기판 및 전력 반도체 모듈에 관한 것으로, 비아가 형성된 세라믹 모재와, 상기 세라믹 모재의 하면에 하부 구리층이 접합되고, 상기 세라믹 모재의 상면에 상부 구리층이 접합되는 DBC 기판; 상기 DBC 기판의 상부 구리층에 적층되는 전력 반도체 소자; 상기 DBC 기판의 하부 구리층에 접합되고, 상기 전력 반도체 소자의 구동에 의해 발생되는 열을 상기 비아를 통해 방출하는 열 방출 소자를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 23/34 (2006.01) H01L 23/12 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020120062663 (2012.06.12)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0139011 (2013.12.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 배현철 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0465998-64
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0064539-16
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0783024-35
4 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2014.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-1111027-13
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
비아가 형성된 세라믹 모재;상기 세라믹 모재의 하면에 접합된 하부 구리 층;상기 세라믹 모재의 상면에 패턴을 가지도록 접합된 상부 구리 층을 포함하는 DBC(Direct Bonded Copper) 기판
2 2
제1항에 있어서, 상기 세라믹 모재는 알루미나(Al2O3)나 알루미늄나이트라이드(AlN)인 것을 특징으로 하는 DBC 기판
3 3
제1항에 있어서, 상기 비아는 구리로 채워져 있는 것을 특징으로 하는 DBC 기판
4 4
비아가 형성된 세라믹 모재와, 상기 세라믹 모재의 하면에 하부 구리층이 접합되고, 상기 세라믹 모재의 상면에 상부 구리층이 접합되는 DBC 기판;상기 DBC 기판의 상부 구리층에 적층되는 전력 반도체 소자;상기 DBC 기판의 하부 구리층에 접합되고, 상기 전력 반도체 소자의 구동에 의해 발생되는 열을 상기 비아를 통해 방출하는 열 방출 소자를 포함하는 전력 반도체 모듈
5 5
제4항에 있어서, 상기 열 방출 소자는 히트 파이프나 열 스프레더인 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 반도체 모듈
6 6
제4항에 있어서, 상기 전력 반도체 소자는 와이어 본딩을 통해 패드에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 전력 반도체 모듈
7 7
제4항에 있어서, 상기 DBC 기판과 동일한 구조를 갖는 추가 DBC 기판;상기 추가 DBC 기판의 하부 구리층에 접합되고, 상기 전력 반도체 소자의 구동에 의해 발생되는 열을 방출하는 추가 열 방출 소자를 더 포함하고, 상기 추가 DBC 기판과 상기 추가 열 방출 소자는 상기 전력 반도체 소자를 중심으로 상기 DBC 기판과 상기 열 방출 소자와 대칭되는 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 전력 반도체 모듈
8 8
제7항에 있어서, 상기 전력 반도체 소자는 신터링(sintering) 공정을 통하여 패드에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 전력 반도체 모듈
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1 US20130328200 US 미국 FAMILY

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1 US2013328200 US 미국 DOCDBFAMILY
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