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마이크로 구조체를 이용한 전기 신호처리용 필터

  • 기술번호 : KST2015098188
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 구조체를 이용한 전기 신호처리용 필터에 관한 것으로, 종래 전기 신호처리용 필터의 경우 압전 후막을 사용함에 따라 삽입 손실이 증가하고 주변회로와의 일체화가 어려운 문제점을 해결하기 위하여, 필터의 구조체를 압전박막을 이용하여 구성하고, 압전박막 상하부의 전극에 서로 반대의 극성을 갖는 전압을 인가하여 대칭형의 플레이트파(plate wave)가 발생되도록 하므로써, 신호 처리 속도를 향상시키고 삽입 손실을 줄이며, 주변회로와의 일체화를 용이하게 할 수 있는 마이크로 구조체를 이용한 전기 신호처리용 필터가 개시된다.필터, 마이크로 구조체, 압전박막, 대칭형 플레이트파
Int. CL H03H 9/54 (2006.01)
CPC H03H 9/54(2013.01) H03H 9/54(2013.01) H03H 9/54(2013.01) H03H 9/54(2013.01)
출원번호/일자 1019990033590 (1999.08.16)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2001-0017855 (2001.03.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.08.30)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종현 대한민국 대전광역시유성구
2 장원익 대한민국 대전광역시유성구
3 최창억 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)
2 최승민 대한민국 서울특별시 중구 통일로 **, 에이스타워 *층 (순화동)(법무법인 세종)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
1999.08.16 수리 (Accepted) 1-1-1999-0095730-60
2 출원심사청구서
Request for Examination
2000.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2000-0182994-52
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2002.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0117209-53
5 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2002.05.21 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0155159-02
6 의견서
Written Opinion
2002.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2002-0155160-48
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2002.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0420970-00
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2003.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0061517-09
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

입력되는 전기 신호를 변환하여 압력파를 발생시키는 압전 박막과,

상기 압전 박막 상부에 형성된 상부 신호전극 패드 및 상부 접지전극 패드와 각각 연결된 상부 신호전극 및 상부 접지전극과,

상기 압전 박막 하부에 형성된 하부 신호전극 패드 및 하부 전지전극 패드와 각각 연결된 하부 신호전극 및 하부 접지전극과,

상기 압전 박막을 지지하고 있는 지지대를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조체를 이용한 전기 신호처리용 필터

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 압전 박막은 하부 압전 박막, 실리콘 질화막 및 상부 압전 박막의 대칭 구조인 것을 특징으로 하는 마이크로 구조체를 이용한 전기 신호처리용 필터

3 3

제 1 항에 있어서,

상기 압전 박막은 하부 압전 박막, 하부 실리콘 질화막, 폴리실리콘막, 상기 실리콘 질화막 및 상부 압전 박막의 대칭 구조인 것을 특징으로 하는 마이크로 구조체를 이용한 전기 신호처리용 필터

4 4

제 1 항에 있어서,

상기 상부 신호전극 및 하부 신호전극, 상기 상부 접지전극 및 하부 접지전극에 각각 반대의 극성을 갖는 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조체를 이용한 전기 신호처리용 필터

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.