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기판 위에 형성된 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 유기 발광층을 갖는 유기 EL 디스플레이 패널의 제조 방법에 있어서, 패터닝된 제 1 전극의 중앙 부분 위에 네가티브 포토 레지스터 오버행 구조를 형성하는 제 1 단계와, 스퍼터링 건의 타겟 방향과 상기 제 1 전극이 패터닝된 기판을 직각으로 배치하여, 상기 제 1 전극의 가장자리 부분과 제 1 전극을 제외한 기판 부분에 절연 박막을 형성하는 제 2 단계, 및 상기 제 2 단계의 결과물 위에 유기 발광층과 제 2 전극을 적층하여 형성하는 제 3 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 유기 EL 디스플레이 패널 제조 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 제 2 단계는, 질소와 아르곤의 혼합가스가 충진된 챔버 내에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법
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제 5 항에 있어서, 상기 절연 박막의 증착율과 결정화율에 따라 상기 질소와 아르곤의 혼합비를 조절하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법
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제 5 항에 있어서, 상기 기판은 고분자 플라스틱인 것을 특징으로 하는 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법
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제 5 항에 있어서, 상기 스퍼터링 건의 타겟은 알루미늄이고 상기 절연 박막은 알루미늄 질화물 박막인 것을 특징으로 하는 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법
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제 4 항에 있어서, 1개의 스퍼터링 건을 사용하고, 하나의 스퍼터링 건에 2개의 자석(외곽 도우넛형 자석과 내부 원판형 자석)을 배치하되, 상기 2개의 자석의 극성을 서로 다르게 배치한 것을 특징으로 하는 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법
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제 4 항에 있어서, 2개의 스퍼터링 건을 사용하고, 상기 각 스퍼터링 건에 하나의 원판형 자석을 배치하되, 상기 두 스퍼터링 건에 배치된 두 원판형 자석의 극성을 서로 다르게 배치한 것을 특징으로 하는 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법
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