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유기 EL 디스플레이 패널 제조방법

  • 기술번호 : KST2015098220
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고분자 플라스틱 및 유리 기판 위에 형성된 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 형성된 적어도 하나 이상의 단분자 유기물, 올리고머, 또는 고분자 발광층을 포함하는 유기 EL 디스플레이에 관한 것이다. 제 1 전극을 패터닝하고 제 1 전극의 가장자리에 금속 산화물 및 질화물 절연막을 형성하는데, 이 금속 산화물 및 질화물 절연막은, 패터닝된 제 1 전극의 가장자리에서 적어도 하나 이상의 단분자 유기물, 올리고머 또는 고분자 발광층을 통과하여 상기 제 2 전극으로 흐르는 누설 전류를 차단한다. 이 EL 디스플레이는 패터닝된 제 1 전극 위에 네가티브 포토 레지스트를 형성하고, 일정 패턴을 갖는 마스크를 이용하여 일정 부분만을 노광 및 현상하여 패턴된 포토 레지스트의 상부 면적이 하부 면적보다 넓게 형성되는 오버행 구조를 형성한 후, 하나 이상의 스퍼터링 건을 이용하여 스퍼터링 타겟과 제 1 전극이 패터닝된 플라스틱 기판을 직각으로 배치해 절연막을 형성하는데, 이 스퍼터링 과정 중 오버행 구조가 파괴되지 않게 한다.유기 EL 디스플레이, 플라즈마, 스퍼터링 건, 절연 박막층
Int. CL H05B 33/22 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020010013210 (2001.03.14)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0407695-0000 (2003.11.18)
공개번호/일자 10-2002-0073053 (2002.09.19) 문서열기
공고번호/일자 (20031201) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.03.14)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성현 대한민국 대전광역시유성구
2 추혜용 대한민국 대전광역시유성구
3 정태형 대한민국 대전광역시유성구
4 이정익 대한민국 경기도수원시권선구
5 도이미 대한민국 대전광역시유성구
6 이효영 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전영일 대한민국 광주 북구 첨단과기로***번길**, ***호(오룡동)(특허법인세아 (광주분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2001.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2001-0056054-27
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2002.12.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2003.01.17 수리 (Accepted) 9-1-2003-0001645-56
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2003.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0116207-28
7 의견서
Written Opinion
2003.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2003-0194952-85
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2003.05.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2003-0194951-39
9 등록결정서
Decision to grant
2003.08.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0315757-85
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
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기판 위에 형성된 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 유기 발광층을 갖는 유기 EL 디스플레이 패널의 제조 방법에 있어서,

패터닝된 제 1 전극의 중앙 부분 위에 네가티브 포토 레지스터 오버행 구조를 형성하는 제 1 단계와,

스퍼터링 건의 타겟 방향과 상기 제 1 전극이 패터닝된 기판을 직각으로 배치하여, 상기 제 1 전극의 가장자리 부분과 제 1 전극을 제외한 기판 부분에 절연 박막을 형성하는 제 2 단계, 및

상기 제 2 단계의 결과물 위에 유기 발광층과 제 2 전극을 적층하여 형성하는 제 3 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 유기 EL 디스플레이 패널 제조 방법

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제 4 항에 있어서,

상기 제 2 단계는,

질소와 아르곤의 혼합가스가 충진된 챔버 내에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법

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제 5 항에 있어서,

상기 절연 박막의 증착율과 결정화율에 따라 상기 질소와 아르곤의 혼합비를 조절하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법

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제 5 항에 있어서,

상기 기판은 고분자 플라스틱인 것을 특징으로 하는 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법

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제 5 항에 있어서,

상기 스퍼터링 건의 타겟은 알루미늄이고 상기 절연 박막은 알루미늄 질화물 박막인 것을 특징으로 하는 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법

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제 4 항에 있어서,

1개의 스퍼터링 건을 사용하고, 하나의 스퍼터링 건에 2개의 자석(외곽 도우넛형 자석과 내부 원판형 자석)을 배치하되, 상기 2개의 자석의 극성을 서로 다르게 배치한 것을 특징으로 하는 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법

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제 4 항에 있어서,

2개의 스퍼터링 건을 사용하고, 상기 각 스퍼터링 건에 하나의 원판형 자석을 배치하되, 상기 두 스퍼터링 건에 배치된 두 원판형 자석의 극성을 서로 다르게 배치한 것을 특징으로 하는 유기 EL 디스플레이 패널 제조방법

지정국 정보가 없습니다
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국가 R&D 정보가 없습니다.