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마이크로컬럼 전자빔 장치의 편향기 및 그 제작 방법

  • 기술번호 : KST2015098227
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로컬럼 전자빔 장치의 편향기 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 기판의 양면에 시드 금속층 및 마스크층을 형성한 후 소정의 마스크를 이용한 사진식각 공정으로 편향판, 배선 및 패드가 형성될 부분의 시드 금속층을 노출시킨다. 노출된 부분에 금속을 도금하여 배선 및 패드를 완성하고, 소정의 마스크를 이용하여 편향판이 형성될 부분을 노출시킨 후 금속을 원하는 두께로 도금하여 편향판을 완성한다. 따라서 금속 도금을 통해 기판의 상, 하부에 다수의 편향판을 동시에 형성하므로써 상, 하부 편향판 간의 대응과 편향판 간의 정렬이 정확히 이루어지고, 일괄된 공정으로 기판과 편향판이 일체화된 편향기를 제작하므로써 생산성 및 재현성이 향상된다. 또한, 편향판, 배선 및 패드를 기판 상에 직접 형성하기 때문에 구조적 안정성이 높아져 내구성이 향상된다.전자빔, 편향기, 편향판, 격리 기판, 도금
Int. CL H01J 37/147 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020020072975 (2002.11.22)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0456237-0000 (2004.10.29)
공개번호/일자 10-2004-0044798 (2004.05.31) 문서열기
공고번호/일자 (20041109) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.11.22)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최상국 대한민국 대전광역시유성구
2 김대용 대한민국 대전광역시중구
3 강동열 대한민국 부산광역시연제구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.11.22 수리 (Accepted) 1-1-2002-0385721-35
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.05.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.06.11 수리 (Accepted) 9-1-2004-0034094-06
4 등록결정서
Decision to grant		 2004.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0448868-64
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

중앙부에 홀이 형성된 격리 기판과,

상기 격리 기판의 상부 및 하부에 상기 홀의 원주를 따라 배열된 다수의 편향판과,

상기 격리 기판의 상부 및 하부 가장자리에 형성된 다수의 패드와,

상기 각 편향판 및 상기 각 패드를 연결하는 다수의 배선을 포함하되, 상기 편향판, 배선 및 패드가 일체형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로컬럼 전자빔 장치의 편향기

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 편향판의 배열에 의해 상기 홀 내측에 전자빔이 통과될 홀이 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로컬럼 전자빔 장치의 편향기

3 3

제 1 항에 있어서, 상기 편향판은 상기 격리 기판을 중심으로 서로 대응되도록 배열된 것을 특징으로 하는 마이크로컬럼 전자빔 장치의 편향기

4 4

제 1 항에 있어서, 상기 격리 기판은 세라믹 알루미나로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로컬럼 전자빔 장치의 편향기

5 5

제 1 항에 있어서, 상기 편향판, 배선 및 패드는 베릴륨, 인 청동, 동, 백동, 스텐레스스틸 또는 닉켈로 이루어지며, 도금 공정으로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로컬럼 전자빔 장치의 편향기

6 6

기판의 중심 부분에 홀을 형성한 후 상기 홀에 폴리머를 매립하고 경화시키는 단계와,

상기 기판의 양면에 시드 금속층을 형성한 후 편향판, 배선 및 패드가 형성될 부분의 상기 시드 금속층이 노출되도록 제 1 마스크패턴을 형성하는 단계와,

노출된 부분의 상기 시드 금속층 상에 제 1 금속층을 형성하는 단계와,

상기 편향판이 형성될 부분의 상기 제 1 금속층이 노출되도록 상기 기판의 양면에 제 2 마스크패턴을 형성하는 단계와,

노출된 부분의 상기 제 1 금속층 상에 제 2 금속층을 형성하는 단계와,

상기 제 2 마스크패턴 및 제 1 마스크패턴을 제거하는 단계와,

노출된 부분의 상기 시드 금속층 및 상기 홀에 매립된 폴리머를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로컬럼 전자빔 장치의 편향기 제작 방법

7 7

제 6 항에 있어서, 상기 폴리머를 경화시키는 단계로부터 상기 기판 양 표면의 폴리머를 연마하는 평탄화 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로컬럼 전자빔 장치의 편향기 제작 방법

8 8

제 6 항에 있어서, 상기 제 1 마스크패턴은 감광막이며, 도포 또는 라미네이팅 방법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로컬럼 전자빔 장치의 편향기 제작 방법

9 9

제 6 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 금속층은 베릴륨, 인 청동, 동, 백동, 스텐레스스틸 또는 닉켈로 이루어지며, 도금 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로컬럼 전자빔 장치의 편향기 제작 방법

10 10

제 6 항에 있어서, 상기 제 2 마스크패턴은 폴리머로 이루어지며, 라미네이팅 방법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로컬럼 전자빔 장치의 편향기 제작 방법

11 11

제 6 항에 있어서, 상기 홀에 매립된 폴리머를 제거하는 단계로부터 상기 제 1 및 제 2 금속층의 노출된 표면에 금속을 도금하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로컬럼 전자빔 장치의 편향기 제작 방법

12 12

제 11 항에 있어서, 상기 금속은 금인 것을 특징으로 하는 마이크로컬럼 전자빔 장치의 편향기 제작 방법

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2 US07214117 US 미국 FAMILY
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4 US20040217299 US 미국 FAMILY

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4 US7214117 US 미국 DOCDBFAMILY
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