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전파를 생성하여 출력하는 구동 발진기;광섬유가 테이퍼된 형태로 상기 광섬유를 통해 전달되는 광을 출력하는 탐침; 및상기 광과 전파를 이용하여 테라헤르츠파를 생성하는 테스트 대상 장치를 포함함을 특징으로 하는 테라헤르츠파 생성 장치
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제1항에 있어서, 상기 탐침은무손실의 광도파로 부분;테이퍼 광섬유 부분; 및탐침단을 포함하여 상기 광도파로 부분이 상기 광섬유에 연결됨을 특징으로 하는 테라헤르츠파 생성 장치
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제2항에 있어서, 상기 탐침단은직경이 상기 광의 파장보다 짧은 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 생성 장치
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제1항에 있어서, 상기 탐침의 스캔 방향은 상기 전파의 주입방향과 교차하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 생성 장치
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제1항 또는 제4항에 있어서,상기 전파는 밀리미터파임을 특징으로 하는 테라헤르츠파 생성 장치
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제1항에 있어서, 상기 테스트 대상 장치에서 생성된 신호를 고주파 신호와 저주파 신호로 분리하는 신호 분리부;상기 테라헤르츠파가 생성되었는지를 검출하기 위해 상기 고주파 신호를 중간 주파 신호로 변환하고, 변환된 중간 주파 신호의 스펙트럼 특성을 측정하는 검출 수단; 및상기 저주파 신호를 분석하고, 분석결과를 이용하여 상기 탐침과 상기 테스트 대상 장치 사이의 거리를 조정하는 제어 수단을 더 포함함을 특징으로 하는 테라헤르츠파 생성 장치
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제6항에 있어서, 상기 검출 수단은상기 고주파 신호를 중간 주파 신호로 변환하는 변환수단; 및상기 중간 주파 신호에 대한 응답을 출력하는 스펙트럼 분석기를 포함함을 특징으로 하는 테라헤르츠파 생성 장치
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제6항에 있어서, 상기 제어 수단은상기 저주파 신호로부터 광전류를 출력하는 정밀 파라미터 분석기;상기 광전류를 증폭하는 증폭기;상기 증폭기의 출력에 따라 제어값을 출력하는 제어부; 및상기 제어값에 따라 상기 탐침의 위치를 제어하여 상기 테스트 대상 장치와의 거리를 조정하는 액추에이터를 포함함을 특징으로 하는 테라헤르츠파 생성 장치
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광파가 주입되는 탐침과 테스트 대상 장치 사이의 거리를 제어하기 위한 기준점을 지정하는 단계; 및상기 기준점에 탐침을 위치시키고, 제1방향으로 상기 탐침에 광파를 주입하여 상기 테스트 대상 장치를 스캔하면서 상기 테스트 대상 장치에 제2방향으로 전파를 주입하여 테라헤르츠파를 생성하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 테라헤르츠파 생성 방법
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제9항에 있어서,상기 테스트 대상 장치에서 생성된 신호를 고주파 신호와 저주파 신호로 분리하는 단계; 상기 고주파 신호를 이용하여 상기 테라헤르츠파가 생성되었는지를 판단하는 단계; 및상기 저주파 신호를 이용하여 상기 탐침의 위치를 조정하여 상기 테스트 대상 장치와의 거리를 조정하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 테라헤르츠파 생성 방법
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제9항에 있어서,상기 전파는 밀리미터파인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 생성 방법
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