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광손실 영역을 줄이기 위해 새부리(bird's beak) 효과를 이용하여 형성된 곡면형태의 개구(aperture) 산화막; 및상기 개구 산화막 상에 형성된 입사광이 산란될 수 있는 산란구조를 가진 금속 박막;을 포함하는 입사광의 보강간섭을 이용한 광 탐침
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제1 항에 있어서,상기 광 탐침은 상기 산란구조에 의해 광 투과율이 증가되는 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 입사광의 보강간섭을 이용한 광 탐침
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제1 항에 있어서,상기 산란구조는 입사광과 산란되는 광이 보강간섭을 일으키는 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 입사광의 보강간섭을 이용한 광 탐침
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제1 항에 있어서,상기 산란구조는 상기 금속 박막에 상기 개구를 중심으로 동심원 형태로 형성된 다수의 원형 요철인 것을 특징으로 하는 입사광의 보강간섭을 이용한 광 탐침
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제4 항에 있어서,상기 원형 요철은 상기 개구 산화막 상에 동심원 형태로 형성된 다수의 원형 홈에 금속 박막이 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는 입사광의 보강간섭을 이용한 광 탐침
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제4 항에 있어서,상기 원형 요철들은 입사되는 빛의 파장에 따라 입사광과 산란되는 광이 보강간섭을 일으킬 수 있는 간격을 가지고 형성된 것을 특징으로 하는 입사광의 보강간섭을 이용한 광 탐침
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제1 항에 있어서,상기 광 탐침은 전체적으로 캔티레버(cantilever)형 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 입사광의 보강간섭을 이용한 광 탐침
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제1 항에 있어서,상기 개구의 지름은 50 ~ 100 ㎚ 인 것을 특징으로 하는 입사광의 보강간섭을 이용한 광 탐침
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제1 항에 있어서,상기 개구 산화막은 관통 홀이 형성되어 있는 실리콘 기판 상에 형성되되, 상기 관통 홀 상부로 포물선 형태로 형성되고 상기 포물선 중앙에 개구가 형성된 것을 특징으로 하는 입사광의 보강간섭을 이용한 광 탐침
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제1 항에 있어서,상기 산화막은 실리콘 산화(SiO2)막인 것을 특징으로 하는 입사광의 보강간섭을 이용한 광 탐침
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제1 항의 광 탐침이 실리콘 기판 상에 적어도 2개 형성된 광 탐침 구조
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제11 항에 있어서,상기 적어도 2 개의 광 탐침이 상기 실리콘 기판 상에 일렬로 배열되는 것을 특징으로 하는 광 탐침 구조
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제1 항의 광 탐침 또는 제11 항의 광 탐침 구조를 포함한 광정보 저장장치
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제13 항에 있어서,상기 광정보 저장장치는 상기 광 탐침 또는 광 탐침 구조를 이용하여 광정보를 기록, 재생 또는 기록과 재생을 동시에 할 수 있는 것을 특징으로 하는 광정보 저장장치
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새부리(bird's beak) 효과를 이용하여 광손실 영역을 줄인 곡면형태의 개구(aperture) 산화막을 형성하는 단계; 및상기 개구 산화막 상에 입사광이 산란될 수 있는 산란구조를 가진 금속 박막을 형성하는 단계;를 포함하는 입사광의 보강간섭을 이용한 광 탐침의 제조방법
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제15 항에 있어서,상기 개구 산화막 형성단계는,실리콘 기판 상에 원형의 마스크막을 형성하는 단계;상기 마스크막을 마스크로 하여 실리콘 기판을 습식 식각하여 초기 탐침 형상을 형성하는 단계;상기 초기 탐침 형상이 형성된 기판 상에 일정 두께의 산화막을 성장시키는 단계;상기 마스크막을 제거하고 상기 산화막 상에 보호막을 형성하는 단계; 및상기 산화막 하부의 초기 탐침 형상 부분의 실리콘 기판을 식각하고 상기 보호막을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 입사광의 보강간섭을 이용한 광 탐침의 제조방법
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제16 항에 있어서,상기 마스크막은 실리콘나이트라이드(Si3N4)로 형성하는 것을 특징으로 하는 입사광의 보강간섭을 이용한 광 탐침의 제조방법
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제16 항에 있어서,상기 성장된 산화막은 상기 원형의 마스크막 하부에서 새부리 효과에 의해 포물선 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 입사광의 보강간섭을 이용한 광 탐침의 제조방법
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제15 항에 있어서,상기 산란구조 형성단계는,상기 개구 산화막 상에 개구를 중심으로 동심원 형태로 다수의 원형 홈을 형성하는 단계; 및 상기 원형 홈이 형성된 개구 산화막 상에 금속 박막을 증착하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 입사광의 보강간섭을 이용한 광 탐침의 제조방법
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제19 항에 있어서,상기 원형 홈은 초점 이온 빔(Focused Ion Beam:FIB)을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 입사광의 보강간섭을 이용한 광 탐침의 제조방법
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