집속 이온빔 시스템이 있어서, 이온원 지지대(108)에 이온원(101)을 이온원 고정 원판(109)으로 고정하여 이온 추출 전극(107)에 넣고 정렬하고, 가속기 보호전극(110)에 고정하여 이온원 모듈의 정렬과 조립을 수행한 후 가속기 절연체(113) 내부의 홈에 가속기의 제1전극(111)과 가속기의 제2전극(112)을 조립하면서 여러가지 두께의 삽입한(114)으로 두 전극간 거리가 조절되도록 고정하면서 가속기 모듈을 정열하며, 그 밑에 6개의 배기구멍(115a)이 뚫어져 있는 이온빔 이송관(115)을 조립하고 그 하부 플랜지에 정전렌즈의 제1전극(116)을 고정하여 이온빔 이송관 모듈을 정열한 후 기판(104)이 위치하는 반응용기(106)에 상부절연체(119)가 조립된 위에 지금까지 정열된 이온 광학계를 정열하면서 조립을 수행하고 정전렌즈의 제2전극(117), 하부절연체(120), 정전렌즈의 제3전극(118)를 차례로 고정 부착한 후 진공용기(105)속의 이온원(101) 위치에 레이저 빔을 조사하여 전극 중심이 일치되도록 순차적, 독립적으로 이온 광학계의 조립 및 정열이 가능하도록 구성하여 모듈별 조립시 발생하는 정열오차의 최소화에 의한 정열 정밀도 개선이 가능하도록 함을 특징으로 하는 집속 이온빔 시스템의 이온광학계

제1항에 있어서, 진공용기(105)와 이온원(101), 가속기(102), 정전렌즈(103)로 구성된 이온 광학계를 분리제작 및 조립하고, 이온 광학계의 모듈간 정열이 가능하도록 하면서, 전체 시스템을 조립 및 정렬할 수 있도록 구성되어 조립시 발생하는 정열 오차의 최소화에 의한 정열 정밀도 개선과 타원수차의 최소화에 의한 이온광학계의 성능을 향상시키도록 함을 특징으로 하는 집속 이온빔 시스템의 이온광학계