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웨이퍼시편이송장치

  • 기술번호 : KST2015098754
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 공정장비에서 웨이퍼 시편을 간편하고 정확하게 반응로와 웨이퍼 보관통간의 웨이퍼 시편을 이송하기 위한 것으로, 반도체 공정장비에서 웨이퍼 시편을 반응로와 웨이퍼 보관통간의 웨이퍼 시편을 이송하는 장치에 있어서, 정확한 이송을 위하여 중심에 구멍이 뚫여 있는 2개의 평면캠을 포스트에 상.하로 포개어 끼우고 상부평면캠 위에 압축스프링을 설치한 후 하부 평면캠을 회전시키면 상부 평면캠이 하부 평면캠의 캠곡면의 높고, 낮음에 의해 포스트에 끼워있는 키이를 따라 상,하운동을 얻고, 2개의 안내봉을 일정 간격으로 고정시키고 볼베어링이 조립된 이송몸체를 조립하여 전,후운동을 시키며 시편 흡착판은 상부 평면캠과 함께 이송몸체에 조립되도록 하여 반응로와 웨이퍼 보관통 사이의 시편이 이송되도록 구성한 것이다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/67706(2013.01) H01L 21/67706(2013.01)
출원번호/일자 1019920025332 (1992.12.24)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0102542-0000 (1996.07.24)
공개번호/일자 10-1994-0016663 (1994.07.23) 문서열기
공고번호/일자 1019960005242 (19960423) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1992.12.24)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이영수 대한민국 대전직할시유성구
2 이운장 대한민국 대전직할시유성구
3 이상수 대한민국 대전직할시유성구
4 박승교 대한민국 대전직할시유성구
5 최상국 대한민국 대전직할시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1992.12.24 수리 (Accepted) 1-1-1992-0137412-78
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1992.12.24 수리 (Accepted) 1-1-1992-0137411-22
3 특허출원서
Patent Application		 1992.12.24 수리 (Accepted) 1-1-1992-0137408-95
4 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1992.12.24 수리 (Accepted) 1-1-1992-0137410-87
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1992.12.24 수리 (Accepted) 1-1-1992-0137409-30
6 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 1994.03.03 수리 (Accepted) 1-1-1992-0137413-13
7 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1996.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1992-0045770-11
8 등록사정서
Decision to grant		 1996.07.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1992-0045771-56
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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반도체공정장비에서 웨이퍼 시편을 반응로와 웨이퍼 보관통간의 웨이퍼시편을 이송하는 장치에 있어서, 정확한 이송을 위하여 중심에 구멍이 뚫여 있는 2개의 평면캠을 포스트(102)에 상

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제1항에 있어서, 상기 시편 흡착판(117)은 일정한 온도, 청정, 시편의 손상 방지를 할 수 있도록 비금속 재질을 사용하고 2개의 튜브 지지봉(116)과 1개의 진공 배관튜브(115)로 고정판에 조립하고 튜브에는 진공 호스(119)를 연결하여 시편 이송시에는 시편 흡착판에 진공이 유지되어 시편이 흡착판에 밀착 되도록하여 안전하게 이송될 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 시편 이송장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.