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입력측 광섬유를 통해 입사되는 광신호의 모드 크기를 변환하여 출력측 광도파로 집적 소자로 출사하는 광 모드 크기 변환기의 제조 방법에 있어서, 기판상에 제1 도파로층, 제1 공간층, 제2 도파로층 및, 제2 공간층을 차례로 형성하는 제1 단계; 설정된 입사부 광도파로의 폭이 되도록 상기 제2 공간층을 지나 제2 도파로층의 일부분까지 식각하는 제2 단계; 상기 제2 공간층 상에 설정된 출사부 도파로의 형태를 가지며, 일측면이 단방향 테이터된 제1 마스크를 형성하는 제3 단계; 상기 부분 식각된 상기 제2 공간층을 마스크로 이용하여 상기 제1 공간층을 지나 상기 기판의 일부분까지 식각하는 제4 단계; 및 상기 제1 마스크를 이용하여 상기 제1 공간층의 일부분까지 부분 식각하여 상기 출사부 도파로를 제작하는 제5 단계를 포함하며; 상기 입력측 광섬유를 상기 제1 도파로층에 연결하고, 상기 출력측 광도파로 집적 소자를 상기 제2 도파로층에 연결시키고, 상기 설정된 출사부 도파로는 상기 설정된 입사부 광도파로의 폭보다 작고 그 길이가 짧으며 일측면이 단방향 테이퍼된 것을 특징으로 하는 광 모드 크기 변환기의 제조 방법
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