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광신호의 경로를 스위칭하기 위하여, 액츄에이터, 변위확대 레버 및 반사 미러를 포함하여 구성된 멤즈형 광 스위치에 있어서, 패드, 상기 패드에 각각 연결되어 있으며, 서로 다른 폭의 두께를 갖는 부분을 포함하고 소정 거리 이격된 가열바 및 냉각바를 구비하는 액츄에이터; 상기 엑츄에이터의 일단에 연결되며, 상기 패드를 통하여 인가된 상기 가열바와 냉각바에 전위차에 의하여 상기 액츄에이터에 발생한 회전력을 변위로 확대하기 위한 변위 확대 레버; 및 상기 변위 확대 레버의 변위 변화에 따라서, 상기 변위 확대 레버에 연결되어 광신호를 반사할 수 있도록 구성된 반사 미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 멤즈형 광 스위치
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제 1 항에 있어서, 상기 가열바 및 냉각바의 높이(h)는 5um 이상이며, 각 바들 간의 간격은 5um인 것을 특징으로 멤즈형 광 스위치
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제 1 항에 있어서, 상기 냉각바의 상기 서로 다른 폭의 두께를 갖는 부분(C)의 길이는 상기 가열바의 길이(A)에 비해 적어도 1/2이며, 상기 서로 다른 폭 중 넓은 폭의 두께는 15um 이상인 것을 특징으로 멤즈형 광 스위치
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제 1 항에 있어서, 상기 반사미러는 PMMA 계열의 물질로 이루어진 PMMA 반사미러인 멤즈형 광 스위치
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제 4 항에 있어서, 상기 PMMA 반사미러 면에는 알루미늄, 금 또는 니켈로 코팅 또는 전기도금 되어 있는 것을 특징으로 하는 멤즈형 광 스위치
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기판 상의 절연층 상에 포토레지스트를 코팅하여 소정 영역에 잔류시키고 금속전극을 형성하는 단계; 상기 금속 전극 상에 도핑된 폴리 실리콘층을 형성하는 단계; 소정의 마스크로 리엑티브 이온 식각(RIE)하여 서로 다른 폭의 두께를 갖는 부분을 포함하고 소정 거리 이격된 가열바 및 냉각바를 구비하는 액츄에이터와 상기 엑츄에이터의 일단에 연결되며, 상기 패드를 통하여 인가된 상기 가열바와 냉각바에 전위차에 의하여 상기 액츄에이터에 발생한 회전력을 변위로 확대하기 위한 변위 확대 레버를 형성하는 단계; 및 상기 전체 구조상에 리가공정으로 PMMA 반사미러를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 PMMA 반사 미러는, 상기 변위 확대 레버의 변위 변화에 따라서 상기 변위 확대 레버에 연결되어 광신호를 반사할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 멤즈형 광 스위치의 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 PMMA 반사미러의 제작은, 액상 PMMA로 코팅을 하여 굳히는 단차를 줄이기 위해 평탄화하는 단계; 전기도금을 하기 위해 얇은 금속막을 증착하는 단계; 접착제를 소정 두께로 형성한 후, 상기 반사미러 높이에 해당하는 높이를 갖는 PMMA 시트를 입히는 단계; X-선 마스크를 기판과 정렬시킨 후 원하는 시간 만큼 방사광을 노광하고 현상을 하여 PMMA를 제거하는 단계; 및 전기도금 공정을 통하여 금속으로 마이크로 미러와 패드를 형성하고 현상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 멤즈형 광 스위치의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 반사 미러의 거울면은 크롬 위에 금을 증착하여 형성된 것을 특징으로 하는 멤즈형 광 스위치의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 반사 미러의 거울면은 크롬 위에 금을 증착하여 형성된 것을 특징으로 하는 멤즈형 광 스위치의 제조방법
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