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플라스틱 기판;상기 플라스틱 기판 상에 형성되는 반사층;상기 반사층 상에 형성되는 버퍼층;상기 기판상의 제 1 영역에서 상기 버퍼층 상에 형성되며, 게이트 메탈과 활성화된 액티브 영역 사이에 형성되는 오프셋을 포함하는 트랜지스터;상기 트랜지스터 상에 형성되는 층간절연막;상기 기판상의 제 2 영역에서 상기 층간절연막으로부터 상기 반사층까지 연장되는 트랜치 내에 형성되며, 제 1 전극이 상기 트랜지스터의 소스/드레인 전극에 접속되는 캐패시터; 및일전극이 상기 캐패시터의 제 2 전극에 접속되는 표시 소자를 포함하는 저온 능동 구동 표시 소자
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제 1 항에 있어서,상기 반사층은 알루미늄(Al)으로 이루어진 저온 능동 구동 표시 소자
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플라스틱 기판 상에 트랜지스터와 캐패시터 및 표시 소자를 구비하는 저온 능동 구동 표시 소자를 제작하는 방법에 있어서,상기 플라스틱 기판을 보호하기 위하여, 상기 플라스틱 기판 상에 레이저 빛을 반사하는 리플렉터를 증착하는 단계; 상기 리플렉터 및 상기 플라스틱 기판을 열로부터 보호하기 위하여, 상기 리플렉터 상에 완충 물질을 증착하는 단계;상기 트랜지스터의 게이트 메탈과 활성화된 액티브 영역 간의 오프셋을 형성하기 위하여, 제 1 포토레지스트를 이용하여 상기 게이트 메탈을 식각하고, 상기 게이트 메탈 위에 남겨진 상기 제 1 포토레지스트가 현상되지 않도록 열처리하고, 제 2 포토레지스트를 코팅한 후에 마스크 없이 노광하여 스페이서를 형성하는 단계; 및상기 제 1 포토레지스트 및 상기 스페이서를 마스크로 게이트 절연막을 식각하고, 상기 제 1 포토레지스트 및 상기 스페이서를 제거하고, 불순물을 주입하고 레이저를 사용하여 상기 액티브 영역의 양단을 활성화시키는 단계를 포함하는 저온 능동 구동 표시 소자의 제조 방법
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제 3 항에 있어서,상기 리플렉터는 알루미늄(Al)으로 이루어진 저온 능동 구동 표시 소자의 제조 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 캐패시터를 3차원 형상으로 형성하기 위하여, 상기 활성화된 액티브 영역 상의 콘택 공정시 상기 리플렉터를 식각장벽층으로 이용하여 상기 트랜지스터 상에 형성되는 층간절연막과 상기 완충 물질을 식각하여 트랜치를 형성하고, 소스/드레인 전극 형성시 상기 트랜치 내에 상기 캐패시터의 제 1 전극을 형성하며, 캐패시터 절연막을 증착하고, 상기 표시 소자의 제 1 전극 형성시 상기 캐패시터의 제 2 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 저온 능동 구동 표시 소자의 제조 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 캐패시터를 3차원 형상으로 형성하기 위하여, 상기 활성화된 액티브 영역 상의 콘택 공정시 상기 리플렉터를 식각장벽층으로 이용하여 상기 트랜지스터 상에 형성되는 층간절연막과 상기 완충 물질을 식각하여 트랜치를 형성하고, 소스/드레인 전극 형성시 상기 트랜치 내에 상기 캐패시터의 제 1 전극을 형성하며, 캐패시터 절연막을 증착하고, 상기 표시 소자의 제 1 전극 형성시 상기 캐패시터의 제 2 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 저온 능동 구동 표시 소자의 제조 방법
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