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복굴절 물질을 사용한 노광장비용 광학계장치

  • 기술번호 : KST2015099035
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 1.청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야엑시머 레이저를 광원으로 사용하는 반도체 노광장비용 광학계에 있어, 초점심도를 확장한 광학계 구성에 관한 것으로, 본 발명은 광원인 ArF 엑시머 레이저와 조명 광학계 후단에 제 1 렌즈군, 반사경(folding mirror), 제 2 렌즈군, 편광 광 분할기, 1/4 파장 평판 ,구면반사경, 제 3 렌즈군으로 구성된 광학계에 복굴절 물질로 제작된 광학부품을 내장한다. 복굴절 물질로 광학부품을 제작하여 광학계를 구성하는 광학부품으로서 광학계 내에 설치하면 입사한 빛의 편광방향에 따라서 굴절률에 차이가 나타나게 되어 빛이 지나가게 되는 경로가 달라지게 되고, 그 결과 광학계의 광축 방향을 따라 상을 맺는 위치가 달라지게 되어 일정한 범위에서 연속적으로 상을 맺게 함으로써 원하는 해상도의 상을 얻을 수 초점심도를 확장시킬 수 있다.광학계, 노광장비, ArF 엑시머, 반사경, 굴절률
Int. CL G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/70191(2013.01) G03F 7/70191(2013.01) G03F 7/70191(2013.01) G03F 7/70191(2013.01) G03F 7/70191(2013.01) G03F 7/70191(2013.01)
출원번호/일자 1019990013748 (1999.04.19)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0293910-0000 (2001.04.09)
공개번호/일자 10-2000-0066542 (2000.11.15) 문서열기
공고번호/일자 (20010615) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1999.04.19)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이각현 대한민국 대전광역시유성구
2 김도훈 대한민국 대전광역시유성구
3 최상수 대한민국 대전광역시유성구
4 정해빈 대한민국 대전광역시유성구
5 조경익 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정지원 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길**, ***호(서초동,서초빌리지프라자)(특허법인이노(제*분사무소))
2 최종식 대한민국 서울특별시 송파구 중대로 ***, ID타워 ***호 (가락동)(신성특허법인(유한))
3 신성특허법인(유한) 대한민국 서울특별시 송파구 중대로 ***, ID타워 ***호 (가락동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원서
Patent Application		 1999.04.19 수리 (Accepted) 1-1-1999-0035867-10
2 등록사정서
Decision to grant		 2001.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0080686-16
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

노광장비용 광학계장치에 있어서,

광원 및 물체면 후단에 위치하는 제1렌즈군;

광축을 실질적인 90°로 꺾어주기 위한 반사경의 후단에 위치하는 제2렌즈군;

상기 제2렌즈군 후단에 위치하며 2개의 프리즘으로 이루어진 편광 광분할기;

상기 편광 광분할기 상단에 위치하는 제1파장평판;

상기 파장 평판 상단에 위치하는 구면반사경;

상기 편광 광 분할기 하단에 위치하는 제2파장평판; 및

상기 평행평판 하단에 위치되어 광이 조사되는 상면과 대응하는 제3렌즈군

을 구비함을 특징으로 하는 노광장비용 광학계장치

2 2

제1항에 있어서,

상기 편광 광 분할기 상단에 위치한 파장 평판에 복굴절 물질의 평행평판을 삽입한 것을 특징으로 하는 광학계장치

3 3

제2항에 있어서,

상기 편광 광 분할기 하단에 위치한 파장 평판에 복굴절 물질의 평행평판을 삽입한 것을 특징으로 하는 광학계장치

4 4

제1항에 있어서,

상기 제3렌즈군의 마지막 렌즈의 광학재료가 CaF2로 이루어짐을 특징으로 하는 광학계장치

5 5

제4항에 있어서,

상기 제3렌즈군의 곡률반경이 앞면은 262

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.