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아르곤 분위기에서 스퍼터링 증착법을 이용하여 산화아연 박막을 증착하는 단계; 및
상기 산화아연 박막을 산소분위기에서 열처리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막형 비선형 전류 특성을 가지는 광소자의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 증착하는 단계는,
질소를 첨가하여 상기 산화아연 박막을 증착하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막형 비선형 전류 특성을 가지는 광소자의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 증착하는 단계는,
면적에 비례하는 비선형계수를 갖는 상기 산화아연 박막을 증착하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막형 비선형 전류 특성을 가지는 광소자의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 증착하는 단계는,
상기 산화아연 박막의 면적이 900 μm2 보다 크도록 증착하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막형 비선형 전류 특성을 가지는 광소자의 제조 방법
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제 1항에 있어서,
상기 산화아연 박막의 양 단에 Al, Ag, Pt, Au, Cu, Fe, Ti, Mo, Cr, W, TiN, WN, ITO, Ir 및 그 산화물, Ru 및 그 산화물, AlZnO 중 어느 하나를 전극으로 증착하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막형 비선형 전류 특성을 가지는 광소자의 제조 방법
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제 1항에 있어서,
상기 산화아연 박막의 양 단에 ITO, Ru, Ir의 산화물, AlZnO의 산화물 중 어느 하나로 구성되는 투명한 박막을 전극으로 증착하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막형 비선형 전류 특성을 가지는 광소자의 제조 방법
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발광 다이오드; 및
상기 발광 다이오드에서 방출되는 빛에 반응하여 비선형 전류 특성을 나타내는 광소자;를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토 트랜지스터
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제 7항에 있어서,
상기 광소자는 스퍼터링 증착법에서 질소를 첨가하여 증착된 산화아연 박막인 것을 특징으로 하는 포트 트랜지스터
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