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전기 발생 소자 어레이와 이를 구비하는 전기 발생 시스템및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015099160
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전기 발생 소자 어레이와 시스템 및 제조방법에 관한 것으로, 기판과; 그리고 상기 기판 상에 어레이되고, 일단은 자유로이 움직일 수 있고 타단은 상기 기판에 고정되며, 상기 일단에는 관성 매스가 달려 있으며, 압전 효과에 의해 전기를 발생시키는, 공진주파수가 서로 다른 다수개의 전기 발생 단위 소자들을 포함할 수 있다. 본 발명에 의하면, 캔틸레버의 길이 변화를 통해 공진주파수를 여러개의 어레이 소자에 의해 구분하게 하여, 진동에 의한 출력 전압을 단위 소자인 경우에 비해 보다 넓은 주파수 대역폭에 의해 반응하고 또한 높은 출력값을 얻을 수 있는 효과가 있다. 미세기전집적시스템(MEMS), 유비쿼터스 센서 네트워크(USN)
Int. CL H02N 2/00 (2013.01) B81C 1/00 (2013.01) H03H 9/205 (2013.01)
CPC H02N 2/18(2013.01) H02N 2/18(2013.01) H02N 2/18(2013.01) H02N 2/18(2013.01) H02N 2/18(2013.01) H02N 2/18(2013.01) H02N 2/18(2013.01)
출원번호/일자 1020070128841 (2007.12.12)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0918380-0000 (2009.09.15)
공개번호/일자 10-2009-0061862 (2009.06.17) 문서열기
공고번호/일자 (20090922) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.12.12)
심사청구항수 22

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고상춘 대한민국 대전 유성구
2 전치훈 대한민국 대전 유성구
3 송현우 대한민국 대전 서구
4 정문연 대한민국 대전 유성구
5 박선희 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오세준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)(특허법인 고려)
2 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
3 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 핀포텍 경기도 화성시 서해로****번길
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2007-0892445-70
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.03.18 수리 (Accepted) 9-1-2009-0018207-87
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.04.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0163954-14
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2009-0342318-59
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.06.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0342317-14
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
8 등록결정서
Decision to grant		 2009.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0358930-47
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판과; 그리고 상기 기판 상에 어레이되고, 일단은 자유로이 움직일 수 있고 타단은 상기 기판에 고정되는 캔틸레버를 가지며, 상기 일단에는 관성 매스가 달려 있으며, 압전 효과에 의해 전기를 발생시키는, 상기 캔틸레버의 길이에 따라 공진주파수가 서로 다른 다수개의 전기 발생 단위 소자들을; 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 발생 소자 어레이
2 2
제1항에 있어서, 상기 기판은 상기 전기 발생 단위 소자들과 전기적으로 연결되는 전극 패드들을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 발생 소자 어레이
3 3
제1항에 있어서, 상기 관성 매스는 상기 캔틸레버의 끝단에 달려있는 것을 특징으로 하는 전기 발생 소자 어레이
4 4
제1항에 있어서, 상기 캔틸레버는 단결정 실리콘으로 구성된 것을 특징으로 하는 전기 발생 소자 어레이
5 5
제1항에 있어서, 상기 관성 매스는 실리콘 벌크로 구성된 것을 특징으로 하는 전기 발생 소자 어레이
6 6
제1항에 있어서, 상기 전기 발생 단위 소자들 각각은: 상기 압전 효과를 일으키는 압전막과, 상기 압전막의 상부에 배치된 상부 전극과, 그리고 상기 압전막의 하부에 배치된 하부 전극을 포함하고; 그리고 상기 캔틸레버는 상기 하부 전극을 구성하는 것을 특징으로 하는 전기 발생 소자 어레이
7 7
제1항에 있어서, 상기 기판은 상기 관성 매스가 자유로이 움직일 수 있는 공간을 제공하는 트렌치를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 발생 소자 어레이
8 8
서로 다른 길이의 캔틸레버를 각각 포함하는 전기 발생 단위 소자들이 진동 가능하게 기판 상에 어레이되어 있는 전기 발생 소자 어레이와; 그리고 상기 전기 발생 소자 어레이와 전기적으로 연결되고, 상기 전기 발생 소자 어레이에서 발생된 전기를 활용하는 전기적 장치를: 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 발생 시스템
9 9
제8항에 있어서, 상기 전기 발생 단위 소자들은: 상기 캔틸레버들이 서로 다른 주파수 대역에서 공진주파수로 진동하며 압전 효과에 의해 전기를 발생시키는 압전 제네레이터들을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 발생 시스템
10 10
제9항에 있어서, 상기 압전 제네레이터들 각각은, 상기 압전 효과를 일으키는 압전막이 상하부 전극에 의해 샌드위치된 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 발생 시스템
11 11
제10항에 있어서, 상기 하부 전극은 상기 캔틸레버를 구성하는 것을 특징으로 하는 전기 발생 시스템
12 12
제9항에 있어서, 상기 전기 발생 단위 소자들 각각은: 일단은 상기 기판에 고정되고; 그리고 타단은 상기 기판에 고정되지 아니하며, 상기 타단에는 관성 매스가 매달려 있어 자유로운 움직임이 가능한 것을; 특징으로 하는 전기 발생 시스템
13 13
제12항에 있어서, 상기 기판은 상기 관성 매스의 자유로운 움직일 수 있는 공간을 제공하는 트렌치를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 발생 시스템
14 14
제8항에 있어서, 상기 전기적 장치는: 상기 전기 발생 어레이에서 발생된 전기를 정류하는 정류기와; 상기 정류기에서 정류된 전기를 축적하는 콘덴서를; 그리고 상기 콘덴서에 축적된 전기를 전원으로 사용하는 센서를; 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 발생 시스템
15 15
제8항에 있어서, 상기 전기 발생 소자 어레이를 내장하는 진공의 빈 공간을 제공하는 하우징을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 발생 시스템
16 16
제15항에 있어서, 상기 하우징은: 상기 빈 공간의 일부를 제공하는 상부 하우징과; 그리고 상기 빈 공간의 나머지 일부를 제공하는 하부 하우징을 포함하며; 상기 상하부 하우징 중 어느 하나는 상기 전기 발생 소자 어레이와 전기적으로 연결되는 패드와, 그리고 외부 장치와 전기적으로 연결되는 전기적 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 발생 시스템
17 17
단결정 실리콘막과 실리콘 벌크와의 사이에 산화막이 배치된 기판을 제공하고; 상기 단결정 실리콘막을 단결정 도전성 실리콘막으로 형성하고; 상기 단결정 도전성 실리콘막을 서로 다른 길이의 캔틸레버들로 분리하고; 상기 캔틸레버들 상에 압전막들과 금속막들을 적층하고; 상기 실리콘 벌크를 관성 매스들로 분리하고; 그리고 상기 기판을 서로 다른 길이로 분리하는 것을; 포함하는 전기 발생 소자의 제조방법
18 18
제17항에 있어서, 상기 단결정 도전성 실리콘막을 서로 다른 길이의 캔틸레버들로 분리하는 것은: 상기 단결정 도전성 실리콘막을 일부 제거하여, 상기 단결정 도전성 실리콘막으로 구성된 제1 길이의 제1 캔틸레버와, 그리고 상기 제1 길이와 상이하고 상기 단결정 도전성 실리콘막으로 구성된 제2 길이의 제2 캔틸레버를 형성하는 것을 포함하는 전기 발생 소자의 제조방법
19 19
제18항에 있어서, 상기 캔틸레버들 상에 압전막들과 금속막들을 적층하는 것은: 상기 제1 및 제2 캔틸레버를 피복하는 절연막을 형성하고; 상기 절연막 상에, 상기 제1 캔틸레버의 상부에 배치되는 제1 압전막과, 그리고 상기 제2 캔틸레버의 상부에 배치되는 제2 압전막을 형성하고; 그리고 상기 제1 압전막의 일부를 덮고 다른 일부는 상기 절연막을 덮는 제1 금속막과, 그리고 상기 제2 압전막의 일부를 덮고 다른 일부는 상기 절연막을 덮는 제2 금속막을 형성하는 것을; 포함하는 전기 발생 소자의 제조방법
20 20
제19항에 있어서, 상기 절연막을 일부 제거하여 상기 제1 캔틸레버의 일부를 노출시키는 제1 콘택홀과, 그리고 상기 제2 캔틸레버의 일부를 노출시키는 제2 콘택홀을 형성하고; 그리고 상기 제1 콘택홀을 전도체로 매립하여 상기 제1 캔틸레버와 전기적으로 연결되는 제1 전기적 연결부와, 그리고 상기 제2 콘택홀을 상기 전도체로 매립하여 상기 제2 캔틸레버와 전기적으로 연결되는 제2 전기적 연결부를 형성하는 것을; 더 포함하는 전기 발생 소자의 제조방법
21 21
제18항에 있어서, 상기 실리콘 벌크를 관성 매스들로 분리하는 것은: 상기 실리콘 벌크의 일부를 제거하여 상기 산화막을 노출시키는 트렌치를 형성하여, 상기 제1 캔틸레버의 일단에 잔류하는 실리콘 벌크로 구성되는 제1 관성 매스와, 그리고 상기 제2 캔틸레버의 일단에 잔류하는 실리콘 벌크로 구성되는 제2 관성 매스를 형성하는 것을; 포함하는 전기 발생 소자의 제조방법
22 22
제21항에 있어서, 상기 기판을 상기 서로 다른 길이로 분리하는 것은: 상기 트렌치를 통해 노출된 산화막을 제거하고; 그리고 상기 제거된 산화막을 통해 노출되며 상기 제1 및 제2 캔틸레버 사이의 절연막을 제거하여, 상기 제1 길이의 캔틸레버의 일단에 상기 제1 관성 매스가 달린 제1 전기 발생 소자와, 그리고 상기 제2 길이의 캔틸레버의 일단에 상기 제2 관성 매스가 달린 제2 전기 발생 소자를 형성하는 것을; 포함하는 전기 발생 소자의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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1 정보통신부 및 정보통신연구진흥원 한국전자통신연구원 IT원천기술개발 유비쿼터스 건강관리용 모듈 시스템