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기판;
상기 기판 상에 배치된 포토믹스 구조체; 및
상기 기판 하부에 제공되는 프레즈넬 렌즈 구조체를 포함하되,
상기 기판 상에 입사하는 광에 의하여 상기 포토믹스 구조체에서 발생한 테라헤르츠 파를 상기 프레즈넬 렌즈 구조체를 통하여 집광하는 것을 특징으로 하는 포토믹스 모듈
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2
제1 항에 있어서,
상기 프레즈넬 렌즈 구조체는 상기 포토믹스 구조체와 정렬되고,
상기 프레즈넬 렌즈 구조체는 회절을 이용하여 상기 포토믹스 구조체에서 발산되는 테라헤르츠 파를 집속하는 것을 특징으로 하는 포토믹스 모듈
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3
제1 항에 있어서,
상기 프레즈넬 렌즈 구조체의 하부에 배치되고 상기 프레즈넬 렌즈 구조체를 통과하는 상기 테라헤르츠 파를 모으는 실리콘 렌즈를 더 포함하되,
상기 실리콘 렌즈는 촛점 거리를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 포토믹스 모듈
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4
제1 항에 있어서,
상기 포토믹스 구조체는:
반도체층; 및
상기 반도체층 상에 배치된 안테나를 포함하되,
상기 안테나에 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 포토믹스 모듈
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5
제1 항에 있어서,
상기 기판 하부에 배치된 하부 접합막을 더 포함하되
상기 하부 접합막은 중심에 하부 접합 관통홀을 포함하고, 상기 하부 접합 관통홀은 상기 포토믹스 구조체와 정렬되는 것을 특징으로 하는 포토믹스 모듈
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| 6 |
6
제1 항에 있어서,
상기 프레즈넬 렌즈 구조체는:
렌즈 기판;
상기 렌즈 기판 상에 배치되고 상부 접합 관통홀을 포함하는 상부 접합막; 및
상기 렌즈 기판의 하부에 형성된 프레즈넬 렌즈를 포함하되,
상기 상부 접합 관통홀은 상기 하부 접합 관통홀과 정렬되는 것을 특징으로 하는 포토믹스 모듈
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7
제6 항에 있어서,
상기 상부 접합막 및 상기 하부 접합막은 금속인 것을 특징으로 하는 포토믹스 모듈
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8
제6 항에 있어서,
상기 프레즈넬 렌즈 구조체를 통과하는 상기 테라헤르츠 파를 모으는 실리콘 렌즈를 더 포함하되,
상기 실리콘 렌즈는 촛점 거리를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 포토믹스 모듈
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9
제1 항에 있어서,
상기 기판 하부에 제공되는 프레즈넬 렌즈 구조체는 상기 기판에 직접 형성되는 것을 특징으로 하는 포토믹스 모듈
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10
기판;
상기 기판 상에 배치된 포토믹스 구조체; 및
상기 기판 하부에 형성된 프레즈넬 렌즈를 포함하되,
상기 프레즈넬 렌즈를 통하여 집광되어 입사하는 광에 의하여 상기 포토믹스 구조체를 통하여 전기신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는 포토믹스 모듈
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