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기판;상기 기판의 일 측 상으로 연결되고 타 측 상으로 오픈된 제 1 빗 모양을 갖는 제 1 전극;상기 기판의 상기 타 측 상으로 연결되고 상기 일 측 상으로 오픈된 제 2 빗 모양을 갖고, 상기 제 1 전극 내에 삽입되는 제 2 전극; 및상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 배치되고, 상기 기판에서 멀어지는 방향으로 교번하여 배치되는 제 1 및 제 2 열전 매질 층들을 포함하는 열전 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 전극은,상기 기판에 평행한 제 1 수평 전극 층들; 및상기 제 1 수평 전극 층들을 상기 기판에 수직하는 방향으로 연결하는 제 1 수직 전극을 포함하는 열전 소자
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제 2 항에 있어서,상기 제 1 전극은, 상기 제 1 수평 전극 층들과 상기 제 1 수직 전극 사이의 제 1 에지 전극 층들을 더 포함하는 열전 소자
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4
제 3 항에 있어서,상기 제 2 전극은,상기 기판에 평행하고, 상기 제 1 수평 전극 층들 사이에 배치된 제 2 수평 전극 층들; 및상기 제 1 수직 전극에 평행한 방향을 갖고 상기 제 2 수평 전극들을 상기 기판에 수직한 방향으로 연결하는 제 2 수직 전극을 포함하는 열전 소자
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제 4 항에 있어서,상기 제 2 전극은,상기 제 2 수평 전극 층들과 상기 제 2 수직 전극 사이의 제 2 에지 전극들을 더 포함하는 열전 소자
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6
제 5 항에 있어서,상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이의 절연 층을 더 포함하는 열전 소자
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7
제 6 항에 있어서,상기 절연 층은,상기 제 1 에지 전극들 사이의 제 1 절연 층; 및상기 제 2 에지 전극들 사이의 제 2 절연 층을 포함하는 열전 소자
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제 7 항에 있어서,제 1 및 제 2 열전 매질 층들은 상기 제 1 수평 전극 층들과 상기 제 2 수평 전극 층들 사이에 각각 교번하여 배치된 열전 소자
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9
제 8 항에 있어서,상기 제 1 수평 전극 층들은,상기 기판과 상기 제 1 열전 매질 층들 사이의 제 1 하부 수평 전극 층; 및상기 제 2 열전 매질 층들과 상기 제 1 열전 매질 층 사이의 제 1 상부 수평 전극 층들을 포함하는 열전 소자
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10
제 7 항에 있어서,상기 절연 층은 층간 절연 층을 더 포함하되,상기 층간 절은 층은, 상기 제 1 수평 전극 층들 사이의 제 1 층간 절연 층; 및상기 제 2 수평 전극 층들 사이의 제 2 층간 절연 층을 더 포함하는 열전 소자
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11
제 10 항에 있어서,상기 제 1 수평 전극 층들은, 상기 기판과 상기 제 1 열전 매질 층들 사이 또는 상기 제 2 층간 절연 층과 상기 제 1 열전 매질 층들 사이의 제 1 하부 수평 전극 층들; 및상기 제 2 열전 매질 층들과 상기 제 2 층간 절연 층 사이의 제 1 상부 수평 전극 층들을 포함하는 열전 소자
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12
제 11 항에 있어서,상기 제 1 에지 전극들은,상기 제 1 하부 수평 전극 층들과 상기 제 1 수직 전극을 연결하는 제 1 하부 에지 전극 층들; 및상기 제 1 상부 수평 전극 층들과 상기 제 1 수직 전극을 연결하는 제 1 상부 에지 전극 층들을 포함하는 열전 소자
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13
제 10 항에 있어서,상기 제 2 수평 전극 층들은, 상기 제 1 열전 매질 층들과 상기 제 1 층간 절연 층들 사이의 제 2 하부 수평 전극 층들; 및상기 제 1 층간 절연 층들과 상기 제 2 열전 매질 층들 사이의 제 2 상부 수평 전극 층들을 포함하는 열전 소자
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제 13 항에 있어서,상기 제 2 에지 전극 층들은,상기 제 2 하부 수평 전극 층들과 상기 제 2 수직 전극을 연결하는 제 2 하부 에지 전극 층들; 및상기 제 2 상부 수평 전극 층들과 상기 제 2 수직 전극을 연결하는 제 2 상부 에지 전극 층들을 포함하는 열전 소자
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15
제 10 항에 있어서,상기 제 1 절연 층은,상기 제 1 열전 매질 층들, 상기 제 1 저온 수평 전극 층들, 및 상기 제 2 열전 매질의 일측 측벽과 상기 제 1 수직 전극 사이에 배치되고, 상기 제 1 층간 절연 층의 일측에 연결되는 제 1 측벽 절연 층; 및상기 제 2 층간 절연 층의 일측과 상기 제 1 수직 전극 사이에 배치되는 제 1 에지 절연 층을 포함하는 열전 소자
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16
제 10 항에 있어서,상기 제 2 절연 층은,상기 제 2 열전 매질 층들, 상기 제 1 고온 수평 전극 층들, 및 상기 제 1 열전 매질의 타측 측벽과 상기 제 2 수직 전극 사이에 배치되고, 상기 제 2 층간 절연 층의 타측 측벽에 연결되는 제 2 에지 절연 층; 및상기 제 2 층간 절연 층의 타측 측벽과 상기 제 2 수직 전극 사이에 배치되는 제 2 측벽 절연 층을 포함하는 열전 소자
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17
기판 상에 교번하여 적층된 복수개의 제 1 및 제 2 수평 전극들;상기 제 1 및 제 2 수평 전극들 사이에 교번하여 배치된 복수개의 제 1 및 제 2 열전 매질 층들;상기 제 1 수평 전극들을 연결하는 제 1 수직 전극; 및상기 제 1 수직 전극과 평행하고, 상기 제 2 수평 전극들을 연결하는 제 2 수직 전극을 포함하는 열전 소자
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18
제 17 항에 있어서,상기 제 2 수평 전극들과 상기 제 1 수직 전극 사이의 제 1 절연 층; 및상기 제 1 수평 전극들과 상기 제 2 수직 전극 사이의 제 2 절연 층을 더 포함하는 열전 소자
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상기 제 1 수평 전극 층들 상에 제 1 열전 매질들을 형성하는 단계;상기 제 1 열전 매질들 상에 제 2 수평 전극 층들을 형성하는 단계;상기 제 2 수평 전극 층들 상에 제 2 열전 매질 층들을 형성하는 단계;상기 제 2 열전 매질들 상에 상기 제 1 수평 전극 층들, 상기 제 1 열전 매질 층들, 상기 제 2 수평 전극 층들, 상기 제 2 열전 매질 층들, 및 상기 제 1 수평 전극 층들을 반복적으로 형성하는 단계;상기 제 1 열전 매질, 상기 제 2 수평 전극, 및 상기 제 2 열전 매질 각각의 일측 측벽에 제 1 절연 층을 형성하는 단계;상기 제 1 절연 층으로부터 노출되는 상기 제 1 수평 전극 층들의 일측 측벽과 상기 제 1 절연 층 상에 제 1 에지 전극 층들 및 제 1 수직 전극을 형성하는 단계;상기 제 1 수평 전극 층들, 상기 제 1 열전 매질 층들, 및 상기 제 2 열전 매질 층들 각각의 타측 측벽에 제 2 절연 층을 형성하는 단계; 및상기 제 2 절연 층으로부터 노출되는 상기 제 2 수평 전극 층들의 타측 측벽과 상기 제 2 절연 층들 상에 제2 에지 전극 층들 및 제 2 수직 전극을 형성하는 단계를 포함하는 열전 소자의 제조방법
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제 19 항에 있어서,상기 제 1 수평 전극 층들 사이에 제 1 층간 절연 층들을 형성하는 단계; 및상기 제 2 수평 전극 층들 사이에 제 2 층간 절연 층들을 형성하는 단계를 더 포함하는 열전 소자의 제조방법
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