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비정질 실리콘 박막 트랜지스터를 이용한 생체 분자 감지를 위한 형광 검출 소자

  • 기술번호 : KST2015099697
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 기판에 부착된 프로브 생체 분자에 분석 대상 생체 분자를 결합시키고, 결합된 생체 분자에 광을 조사하여 발생되는 형광을 검출하는 생체 분자 감지를 위한 형광 검출 소자에 관한 것이다. 이 형광 검출 소자는, 투명 기판, 광 박막 트랜지스터, 커패시터 및 전달 박막 트랜지스터를 포함한다. 투명 기판은, 제1 영역, 제2 영역 및 제3 영역을 가지며, 제1 표면으로 광이 조사되고 제1 표면과 반대의 제2 표면은 제1 기판의 프로브 생체 분자가 부착된 면과 대향하도록 배치된다. 광 박막 트랜지스터는, 제1 영역에서 투명 기판의 제2 표면 위에 배치되어 결합된 생체 분자로부터 발생되는 형광에 대응하는 전하를 발생시킨다. 커패시터는, 제2 영역에서 투명 기판의 제2 표면 위에 광 박막 트랜지스터와 나란하게 배치되어 광 박막 트랜지스터로부터 발생된 전하를 저장한다. 그리고 전달 박막 트랜지스터는, 제3 영역에서 투명 기판의 제2 표면 위에 커패시터와 나란하게 배치되어 커패시터에 저장된 전하를 별도의 분석 시스템에 전달한다.
Int. CL C12Q 1/68 (2006.01)
CPC C12Q 1/6816(2013.01) C12Q 1/6816(2013.01) C12Q 1/6816(2013.01) C12Q 1/6816(2013.01)
출원번호/일자 1020020063838 (2002.10.18)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0479263-0000 (2005.03.18)
공개번호/일자 10-2004-0035104 (2004.04.29) 문서열기
공고번호/일자 (20050328) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.10.18)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤태환 대한민국 경기도성남시분당구
2 양해식 대한민국 대전광역시서구
3 이대식 대한민국 대전광역시유성구
4 박세호 대한민국 대전광역시유성구
5 신용범 대한민국 대전광역시서구
6 김규원 대한민국 대전광역시유성구
7 김성진 대한민국 대전광역시유성구
8 김윤태 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이영필 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)
2 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2002.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2002-0342799-33
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2004.04.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2004.05.12 수리 (Accepted) 9-1-2004-0024864-66
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2004.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0402017-71
5 의견서
Written Opinion
2004.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2004-0551253-43
6 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2004.11.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0551254-99
7 등록결정서
Decision to grant
2005.02.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0078484-46
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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제1 기판에 부착된 프로브 생체 분자에 분석 대상 생체 분자를 결합시키고, 결합된 생체 분자에 광을 조사하여 발생되는 형광을 검출하는 생체 분자 감지를 위한 형광 검출 소자에 있어서, 제1 영역, 제2 영역 및 제3 영역을 가지며, 제1 표면으로 상기 광이 조사되고 상기 제1 표면과 반대의 제2 표면은 상기 제1 기판의 프로브 생체 분자가 부착된 면과 대향하도록 배치되는 투명 기판; 상기 제1 영역에서 상기 투명 기판의 상기 제2 표면 위에 배치되어 상기 결합된 생체 분자로부터 발생되는 형광에 대응하는 전하를 발생시키는 광 박막 트랜지스터; 상기 제2 영역에서 상기 투명 기판의 상기 제2 표면 위에 상기 광 박막 트랜지스터와 나란하게 배치되어 상기 광 박막 트랜지스터로부터 발생된 전하를 저장하는 커패시터; 및 상기 제3 영역에서 상기 투명 기판의 상기 제2 표면 위에 상기 커패시터와 나란하게 배치되어 상기 커패시터에 저장된 전하를 별도의 분석 시스템에 전달하는 전달 박막 트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 형광 검출 소자
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제1항에 있어서, 상기 광 박막 트랜지스터, 커패시터 및 전달 박막 트랜지스터는, 상기 제1 영역에서 상기 투명 기판 위에 형성된 광 박막 트랜지스터의 게이트 전극; 상기 제3 영역에서 상기 투명 기판 위에 형성된 전달 박막 트랜지스터의 게이트 전극; 상기 제2 영역에서 상기 투명 기판 위에 배치된 상기 커패시터의 하부 전극으로서의 제1 투명 도전막; 상기 제1 영역, 제2 영역 및 제3 영역에서 상기 광 박막 트랜지스터의 게이트 전극, 상기 커패시터의 하부 전극으로서의 투명 도전막, 및 상기 전달 박막 트랜지스터의 게이트 전극 위에 형성된 절연막; 상기 제1 영역 및 제3 영역에서 상기 절연막 위에 형성된 비정질 실리콘층; 상기 제1 영역에서의 비정질 실리콘층 위에서 상기 비정질 실리콘층의 일부 표면을 노출시키도록 배치되어 광 박막 트랜지스터의 소스/드레인 영역으로 사용되고, 상기 제2 영역에서 상기 절연막 위에 배치되어 상기 커패시터의 상부 전극으로 사용되는 제2 투명 도전막; 상기 제3 영역에서의 비정질 실리콘층 위에서 상기 비정질 실리콘층의 일부 표면을 노출시키도록 배치되어 전달 박막 트랜지스터의 소스/드레인 영역으로 사용되는 금속막; 상기 광 박막 트랜지스터 및 전달 박막 트랜지스터의 비정질 실리콘층, 상기 제2 투명 도전막 및 상기 금속막 위에 형성된 제1 보호막; 상기 제3 영역에서 상기 제1 보호막 위에 형성된 광차폐막; 및 상기 제1 영역 및 제2 영역의 제1 보호막 위 및 상기 제3 영역의 광차폐막 위에 형성된 제2 보호막을 구비하는 것을 특징으로 하는 형광 검출 소자
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제2항에 있어서, 상기 제1 투명 도전막 및 제2 투명 도전막은 ITO막인 것을 특징으로 하는 형광 검출 소자
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제2항에 있어서, 상기 제1 영역에서의 비정질 실리콘층 및 제2 투명 도전막 사이와, 상기 제3 영역에서의 비정질 실리콘층 및 금속막 사이에 배치된 오믹 컨택층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 형광 검출 소자
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