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감지 대상 원소를 포함하는 측정 대상계; 서로 이격된 두 전극; 상기 두 전극 사이에 부착되되 상기 측정 대상계에 인입된 바나듐 산화물(V2O5)의 나노와이어(nanowire); 및 상기 감지 대상 원소를 감지함에 따른 상기 나노와이어의 저항 변화를 감지하는 측정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노와이어 센서
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제1항에 있어서, 상기 감지 대상 원소는 헬륨(He)인 것을 특징으로 하는 나노와이어 센서
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제1항에 있어서, 상기 감지 대상 원소는 대기 중에 포함된 대기 성분 원소 또는 대기 중에 포함된 다른 성분인 것을 특징으로 하는 나노와이어 센서
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제1항에 있어서, 상기 감지 대상 원소는 산소(O2), 질소(N2), 물(H2O) 또는 수소(H2)인 것을 특징으로 하는 나노와이어 센서
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제1항에 있어서, 상기 측정 대상계는 진공계이거나 액상 또는 기상을 포함하는 계(system)인 것을 특징으로 하는 나노와이어 센서
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6
제1항에 있어서, 상기 측정부는 상기 나노와이어의 저항 변화를 측정하여 상기 측정 대상계 내에서의 상기 감지 대상 원소의 분압 또는 농도를 측정하는 것을 특징으로 하는 나노와이어 센서
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7
제1항에 있어서, 상기 측정부는 상기 나노와이어의 저항 변화를 측정하여 상기 측정 대상계 내의 진공도를 측정하거나 압력 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 나노와이어 센서
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8
제1항에 있어서, 상기 측정부는 상기 측정 대상계가 기체 또는 유체의 흐름일 때 상기 나노와이어의 저항 변화를 측정하여 상기 흐름의 압력 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 나노와이어 센서
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9
서로 이격된 두 전극을 도입하는 단계; 상기 두 전극들 상에 걸쳐지게 바나듐 산화물(V2O5)의 나노와이어(nanowire)들을 도입하는 단계; 상기 두 전극에 교류 전압을 인가하여 상기 나노와이어들이 인가되는 교류 전기장에 의해서 상호 이격되게 정렬시키는 단계; 상기 정렬된 나노와이어들을 상기 두 전극에 걸쳐지게 부착하는 단계; 및 상기 두 전극을 측정부에 전기적으로 연결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노와이어 센서 제조 방법
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바나듐 산화물(V2O5)의 나노와이어(nanowire)들이 분산된 용액을 준비하는 단계; 상기 두 전극들 상 및 상기 두 전극들 사이에 상기 용액을 도입하는 단계; 상기 두 전극에 교류 전압을 인가하여 상기 용액 내에 분산된 상기 나노와이어들이 인가되는 교류 전기장에 의해서 상기 두 전극에 걸쳐지되 상호 이격되게 정렬시키는 단계; 상기 용액 중의 용매 성분을 증발시키는 단계; 상기 정렬된 나노와이어들을 상기 두 전극에 부착하는 단계; 및 상기 두 전극을 측정부에 전기적으로 연결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노와이어 센서 제조 방법
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바나듐 산화물(V2O5)의 나노와이어(nanowire)들이 분산된 용액을 준비하는 단계; 상기 두 전극들 상 및 상기 두 전극들 사이에 상기 용액을 도입하는 단계; 상기 두 전극에 교류 전압을 인가하여 상기 용액 내에 분산된 상기 나노와이어들이 인가되는 교류 전기장에 의해서 상기 두 전극에 걸쳐지되 상호 이격되게 정렬시키는 단계; 상기 용액 중의 용매 성분을 증발시키는 단계; 상기 정렬된 나노와이어들을 상기 두 전극에 부착하는 단계; 및 상기 두 전극을 측정부에 전기적으로 연결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노와이어 센서 제조 방법
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