맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

다결정실리콘박막증착용저압화학증착장치의진공시스템

  • 기술번호 : KST2015100148
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내용 없음
Int. CL H01L 21/223 (2006.01)
CPC C23C 16/4412(2013.01) C23C 16/4412(2013.01)
출원번호/일자 1019870015004 (1987.12.26)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0039012-0000 (1991.01.15)
공개번호/일자 10-1989-0011032 (1989.08.12) 문서열기
공고번호/일자 1019900006260 (19900827) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1987.12.26)
심사청구항수 2

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 장원익 대한민국 대전시유성구
2 정기로 대한민국 대전직할시유성구
3 이용일 대한민국 충남대전시동구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전직할시중구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1987.12.26 수리 (Accepted) 1-1-1987-0088043-22
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1987.12.26 수리 (Accepted) 1-1-1987-0088045-13
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1987.12.26 수리 (Accepted) 1-1-1987-0088044-78
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1988.09.15 수리 (Accepted) 1-1-1987-0088046-69
5 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1990.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1987-0051986-99
6 등록사정서
Decision to grant		 1990.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1987-0051988-80
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

다결정 실리콘 박막증착을 위한 저압화학증착장치에 있어서, 진동흡수 배관시 어긋난 정렬, 열팽창으로 인한 누설방지를 위해 반응용기(A) 다음에 진동흡수관(3)이 설치되고, 배기관내의 급격한 압력변화 및 공정전후 발생된 생선먼지의 걸름역할인 트랩(5)뒤에 반응용기의 앞 플랜지에 부착된 압력센서(21)의 압력신호가 배기밸브제어기(22)에 절달되어 이미 조정된 일정한 공정압력을 유지하기 위해 관로의 개구 면적을 조절하는 트로틀밸브(7)가 설치되고, 최초 펌프가동시 유효배기속도를 적게하여 과부하 방지 및 반응용기내의 난류에 의한 먼지생성을 최소화 할 수 있는 주관보다 지름이 작은 소프트스타토 배기관(11)이 설치되고,펌프용기의 내부보호, 가스응축의 방지, 부생성 및 미반응가스와 비산된 오일을 걸러주는 오일걸름시스템(16), 질소벨레스트시스템(14), 오일걸름필터(15)가 설치되고, 독성 및 폭발성 가스의 즉각적인 배기를 위해 트로틀밸브(7)와 진공밸브(9)사이에 부배기관(12)을 설치하여 인체에 안전함을 보장함을 특징으로 하는 상기와 같이 배열구성된 다결정 실리콘 박막증착용 저압화학증착장치의 진공시스템

2 2

제1항에 있어서, 정전시 공정중인 웨이퍼의 손상방지 및 폭발성 가스의 즉각적인 배기에 의해 인체에 안전함을 보장하기 위하여 트로틀밸브(7)와 진공밸브(9)사이에 부배기관(12)을 분기시켜 진공 용기의 압력을 일정하게 유지하도록 한 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 박막 증착용 저압화학증착장치의 진공시스템

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.