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클러스터장비용카세트엘리베이터의웨이퍼위치감지방법및장치

  • 기술번호 : KST2015100486
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 제조공정의 통합화를 위한 클러스터 장비에 관한 것으로 특히 클러스터 장비용 카셋트엘리베이터의 웨이퍼 위치감지방법 및 장치에 관한 것으로 웨이퍼의 위치를 정확하게 감지하여 오동작을 피할 수 있도록 하기 위하여 클러스터 장비용 플렛폼에 웨이퍼를 공급, 회수하는 카셋트 엘리베이터의 UCL(Universal Cassetter Locator)에 놓여진 카셋트의 웨이퍼 위치를 명확히 감지하도록 플렛폼의 카셋트 챔버에 가시광선의 광원(Visible Light Source)을 설치하여 웨이퍼를 인식하도록 함을 특징으로 함.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/67259(2013.01) H01L 21/67259(2013.01)
출원번호/일자 1019930029997 (1993.12.27)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0126587-0000 (1997.10.16)
공개번호/일자 10-1995-0021336 (1995.07.26) 문서열기
공고번호/일자 (19980402) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1993.12.27)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김윤태 대한민국 대전직할시유성구
2 전치훈 대한민국 대전직할시유성구
3 정기로 대한민국 대전직할시대덕구
4 박희복 대한민국 대전직할시대덕구
5 임태영 대한민국 대전직할시서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
3 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1993.12.27 수리 (Accepted) 1-1-1993-0149978-57
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1993.12.27 수리 (Accepted) 1-1-1993-0149977-12
3 특허출원서
Patent Application		 1993.12.27 수리 (Accepted) 1-1-1993-0149976-66
4 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 1994.02.23 수리 (Accepted) 1-1-1993-0149979-03
5 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.03.21 수리 (Accepted) 1-1-1993-0149980-49
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1997.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0072043-04
7 의견서
Written Opinion		 1997.06.30 수리 (Accepted) 1-1-1993-0149981-95
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1997.06.30 수리 (Accepted) 1-1-1993-0149982-30
9 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.07.29 수리 (Accepted) 1-1-1993-0149983-86
10 등록사정서
Decision to grant		 1997.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0072044-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

웨이퍼 카셋트 엘리베이터 챔버(1)내의 웨이퍼를 감지하는 클러스터 장비용 카셋트 엘리베이터의 웨이퍼 감지장치에 있어서, 상기 카셋트 챔버의 도어(17)에 수광부(15)를 설치하고 그 대응되는 면에 가시광선의 광원인 발광부(19)를 설치하여 상기 말광부(19)의 빔에 의해 웨이퍼를 감지하도록 하고, 상기 발광부(19)로부터 나온 빔이 수평면과 소정의 각도(θ≤Tan-1(t/R))로 경사지게 수광부(15)에 도달하도록 웨이퍼에 따라 빔의 각을 조절하는 반사경(20)을 상기 발광부(19)에 구비한 것을 특징으로 하는 클러스터 장비용카셋트 엘리베이터의 웨이퍼 위치감지장치

2 2

웨이퍼 카셋트 엘리베이터 챔버(1)내의 웨이퍼를 감자하는 클러스터 장비용 카셋트 엘리베이터의 웨이퍼 위치감지방법에 있어서, 상기 카셋트 챔버에 가시광선의 광원인 발광(19)와 수광부(15)를 두어 상기 발광부(19)의 빔에 의해 웨이퍼를 감지하도록 하고, 상기 발광부(l9)로부터 나온 빔이 수평면과 소정의 각도(θ≤Tan-1(t/R))로 경사지게 수광부(15)에 도달하도록 빔을 조사하여 수광부(l5)에 도달하는 빔의 유무에따라 웨이퍼를 감지하도록 하는 클러스터 장비용 카셋트 엘리베이터의 웨이퍼 위치감지방법

3 3

제 2 항에 있어서, 상기 수광부(l5)가 받은 빔의 양을 측정하여 그 값을 초기의 발광부(19)의 양과 비교하여 LCD 제조용 액정기판 등의 투명한 기판의 위치를 인식하는 것을 특징으로 하는 클러스터 장비용 카셋트 엘리베이터의 웨이퍼 위치감지방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.