반도체 제조공정의 급속 열처리장치 및 급속 열화학증착장치에 있어서 공정상 요구되는 반응로(1)의 저압상태 유지 및 급속한 분위기를 교체할 수 있도록 진공펌프(15), 진공밸브(11), 주진공관(13), 부진공관(12), 트로틀 밸브(8), 정전시 배기관(14) 및 주배기관(30)등으로 구성된 진공배기계 부분과 진공계 I(6), 압력지시기 A(7)와 진공계 II(17), 압력지시기 B(18) 및 트로틀밸브 제어기(9)등으로 구성된 압력제어계의 두 모듈로 구성된 급속 열처리장치용 진공시스템

제1항에 있어서, 반응로(1)로부터의 배기라인은 기계적 진동흡수 및 진공계에의 공정가스가 원활하게 배기되도록 다수의 진동흡수관 A(3)를 병렬로 연결하며 이를 다시 다기관(4)에 의해 모아져 공정상의 생성입자 여과와 반응로내 급격한 압력변화 및 오일역류를 방지해주는 파티클트랩(5)에 연결되어 구성됨을 특징으로 하는 급속 열처리장치용 진공시스템

제1항에 있어서, 압력제어계는 반응로(1)에 부착된 진공계 I(6)의 압력이 압력지시기 A(7)에 의해서 전기적 신호로 변환되어 트로틀밸브 제어기(9)로 보내지면, 이 트로틀밸브 제어기(9)가 주진공관(13) 라인의 트로틀 밸브(8)의 개폐면적을 조절하도록 하여 반응로(1)내는 항상 일정한 공정압력이 유지되도록 하는 궤환제어(feed back control)가 됨을 특징으로 하는 급속 열처리장치용 진공시스템

제1항에 있어서, 진공밸브(11)는 트로틀 밸브(8) 다음에 설치되어 반응로(1)와 진공펌프(15) 사이를 차단하며 그 이저너에 공압밸브 B(10b)가 설치된 부진공관(12)이 설치되어 주진공관(13)에 바이패스(bypass)시켜 줌으로서 최초 진공시스템 가동시 진공펌프(15)의 과부하 방지 및 반응로(1)내의 난류에 의한 입자생성이 억제되도록 함을 특징으로 하는 급속 열처리장치용 진공시스템

제1항에 있어서, 공압밸브 C(16c) 및 역지밸브 A(16a)가 설치된 정전시 배기관(14)은 공정상 예기치못한 정전(power failure)발생시 반응로(1)속의 공정가스를 진공펌프(15)를 거치지 않고 주배기관(30)으로 직접 배출되도록 하므로서 반응로(1)내의 웨이퍼손상 방지 및 작업 안전을 꾀하도록 함을 특징으로 하는 급속 열처리장치용 진공시스템

제1항에 있어서, 진공계 II(17) 및 압력지시기 B(18)가 진공밸브(11)와 진공펌프(15) 사이에 설치되어 공정 전, 후의 반응로(1) 및 진공시스템에서의 가스누출 점검이 가능하도록 함을 특징으로 하는 급속 열처리장치용 진공시스템

제1항에 있어서, 진공펌프(15)를 구성하는 회전펌프(20)에는 오일여과 필터(23), 모터(22)로 구성된 오일여과 시스템(21)과, 유량계(26), 역지밸브(16b), 솔레노이드 밸브(27)로 구성된 질소 발라스트 시스템(25)을 구비하며, 회전펌프(20)의 입, 출구 양단에는 기계적 진동흡수를 위한 진동흡수관 B(3b) 및 진동흡수관 C(3c)를 구비함을 특징으로 하는 급속 열처리장치용 진공시스템