기준시편을 일정 파장대역을 갖는 광빔으로 투사하는 단계와, 광필터들을 통하여 투과 스펙트럼 영상의 χ좌표를 파장값으로 변환시키는 단계와, 기준시편의 특성을 분석하여 에너지갭 픽셀값(Xgap)을 설정하는 단계와, 투과 스펙트럼 영상을 구성하는 각각의 픽셀값(χ)과 해당 픽셀의 파장(λ)간의 전달함수 λ=f(χ)를 구한 후 시편을 위치시켜 스펙트럼의 영상화를 수행하는 단계와, 영상화를 통하여 얻어진 생화면을 기억시킨 후 영상의 χ축을 따라 상기 각각의 픽셀값(χ)을 주사하는 단계 및, 상기 각각의 픽셀값(χ)과 상기 에너지갭 픽셀값(Xgap)을 순차로 비교하여 일치하는 픽셀의 χ좌표를 읽어 파장(λgap)을 구한 후[eV]단위로 변환하여 에너지갭(Eg)을 구하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 에너지갭 측정방법

제 1 항에 있어서, 에너지갭에 해당하는 픽셀값을 미리 선정한 후 영상의 좌/우변으로 부터 우/좌 방향으로 χ좌표의 각 픽셀값을 주사하여 읽은 후 두 값을 비교하여 일치했을때 그 χ좌표를 에너지갭(Eg)값으로 읽어내도록 함을 특징으로 하는 반도체 에너지갭 측정방법

광학적 방식에 의해 반도체의 에너지갭(Eg)을 측정하는 장치에 있어서, 상기 에너지갭(Eg)의 측정과 관련된 제반연산 및 제어기능을 수행하는 퍼스널 컴퓨터(9)와, 광원(1)으로부터 방출되는 광을 모으는 렌즈(2)와, 상기 렌즈(2)를 통하여 제공되는 광의 스펙트럼을 시료(4)에 조사하는 다색화 수단(3)과, 상기 시료(4)를 통하여 제공되는 투과 스펙트럼 영상의 광을 서로 상이한 복수의 특정파장(λp1∼λpn)별로 통과시키는 복수의 광필터 수단(5)과, 상기 복수의 광필터 수단(5)에 의해 해당 필터의 파장으로 이루어진 영상을 소정의 아날로그 전기신호로 변환하는 영상독취수단(6)과, 상기 영상독취수단(6)의 출력신호를 디지탈 신호로 변환하여 기억하는 영상신호 처리수단(7)및, 픽셀의 좌표값과 파장간의 함수관계를 설정하는 에너지 갭 검색 및 표시수단(8)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 에너지갭 측정장치