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화학,기계적연마기의스핀들테이블어셈블리

  • 기술번호 : KST2015100591
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 제조장치에 있어서 특히 웨이퍼 박막의 연마시 연마제의 온도변화를 줄여주며 연마된 박막두께의 균일도를 향상하고 평탄화 할 수 있도록 하는 화학, 기계적 연마기의 스핀들 테이블 어셈블리에 관한 것으로 본 발명은 평탄화 기술에 사용되는 화학, 기계적 연마장비를 개선하여 단위공정의 질적 향상과 공정의 안정화를 도모할 수 있도록 화학적 기계적 연마장치의 스핀들 테이블 어셈블리의 구조를 알루미늄 플레이터, 온수순환 탱크, 연마용액공급탱크, 연마를 패드 위로 보내는 미세관 패드등으로 구성되도록 하며, 연마시 패드 아래에서 패드 위로 연마용액이 공급되도록 함을 특징으로 하는 것이다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC B24B 37/107(2013.01) B24B 37/107(2013.01)
출원번호/일자 1019940035475 (1994.12.21)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0174867-0000 (1998.11.06)
공개번호/일자 10-1996-0026315 (1996.07.22) 문서열기
공고번호/일자 (19990401) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.12.21)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상기 대한민국 대전직할시유성구
2 백종태 대한민국 대전광역시 유성구
3 이춘수 대한민국 대전광역시 유성구
4 유형준 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 원혜중 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 서울빌딩 *층 (역삼동)
3 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
4 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1994.12.21 수리 (Accepted) 1-1-1994-0159705-24
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1994.12.21 수리 (Accepted) 1-1-1994-0159704-89
3 특허출원서
Patent Application		 1994.12.21 수리 (Accepted) 1-1-1994-0159703-33
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.09 수리 (Accepted) 1-1-1994-0159706-70
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.21 수리 (Accepted) 1-1-1994-0159707-15
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1998.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0088979-66
7 의견서
Written Opinion		 1998.04.01 수리 (Accepted) 1-1-1994-0159708-61
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1998.04.01 수리 (Accepted) 1-1-1994-0159710-53
9 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 1998.04.01 수리 (Accepted) 1-1-1994-0159709-17
10 거절사정서
Decision to Refuse a Patent		 1998.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0088980-13
11 등록사정서
Decision to grant		 1998.10.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0088983-49
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

알루미늄 플레이터(10)와; 상기 알루미늄 플레이터(10)의 상측에 설치되어 연마용액의 온도를 일정하게 유지하기 위한 온수순환탱크(80)와; 상기 알루미늄 플레이터(10) 하부에 연결된 실링 키트(50)에 통과되어 상기 온수순환탱크(80)에 온수를 공급하는 온수 입출구(60) 및 그 온수 입출구 사이에 설치되어 연마용액을 연속 공급하기 위한 통로인 연마용액공급라인(30)과; 상기 온수순환탱크(80) 상측에 설치되어 상기 연마용액공급라인(30)을 통해 공급되는 연마용액을 용액공급 미세관(91)을 통하여 균일하게 분사시키는 연마용액공급탱크(90)와; 및 상기 용액공급탱크(90)에서 분사된 연마용액이 상측 표면에 위치한 웨이퍼(70)의 전면적에 분출되도록 다수의 용액공급구(21)가 패드 전체에 가로 및 세로로 일정하게 직각형태로 형성된 패드(20)로 구성된 것을 특징으로 하는 화학, 기계적 연마기의 스핀들 테이블 어셈블리

2 2

제1항에 있어서, 상기 용액공급 미세관(91)은 다양한 크기, 방향, 배열로 형성된 것을 특징으로 하는 화학, 기계적 연마기의 스핀들 테이블 어셈블리

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.