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입사된 레이저 빔에 의해 하전 입자를 발생시키는 타깃층;상기 타깃층의 서로 대향하는 양면들 중 하나의 면 상에 제공된 자기조립 단분자막층을 포함하되,상기 자기조립 단분자막층은 상기 레이저 빔에 의해 플라즈마를 형성하고, 그리고 상기 타깃층은 상기 플라즈마에 의해 상기 하전 입자를 발생시키는 하전 입자 발생용 타깃
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제 1항에 있어서,상기 타깃층은 1 nm ~ 1 mm 범위의 두께를 갖는 하전 입자 발생용 타깃
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제 1항에 있어서,상기 타깃층은 세라믹 물질, 금속 물질 또는 유기 물질을 포함하는 하전 입자 발생용 타깃
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제 1항에 있어서,상기 자기조립 단분자막층은 상기 레이저 빔에 의해 상기 하전 입자를 발생시키는 하전 입자 발생용 타깃
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제 1항에 있어서,상기 자기조립 단분자막층은 0
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제 1항에 있어서,상기 자기조립 단분자막층은 탄소, 수소, 질소, 산소, 황, 인, 실리콘, 철, 염소 또는 브롬과 같은 원소를 포함하는 하전 입자 발생용 타깃
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제 1항에 있어서,상기 자기조립 단분자막층의 말단 작용기는 탄화수소 계열 작용기, 산소를 포함하는 작용기, 할로겐을 포함하는 작용기, 질소를 포함하는 작용기, 또는 인 및 황을 포함하는 작용기를 포함하는 하전 입자 발생용 타깃
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제 1항에 있어서,상기 자기조립 단분자막층은 두 종류 이상의 물질들로 구성되는 하전 입자 발생용 타깃
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제 1항에 있어서,상기 자기조립 단분자막층은 복수의 영역들에 제공되되, 상기 복수의 영역들은 배열된 형태를 갖는 하전 입자 발생용 타깃
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제 1항에 있어서,상기 자기조립 단분자막층의 두께, 종류 또는 작용기에 의해 상기 플라즈마의 밀도가 조절되는 하전 입자 발생용 타깃
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서로 대향하는 양면들을 갖는 타깃층의 하나의 면 상에 자기조립 단분자막층을 형성하는 단계를 포함하되,상기 자기조립 단분자막층은 입사되는 레이저 빔에 의해 플라즈마를 형성하고, 그리고 상기 타깃층은 상기 플라즈마에 의해 하전 입자를 발생시키는 하전 입자 발생용 타깃의 제조 방법
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제 11항에 있어서,상기 타깃층은 1 nm ~ 1 mm 범위의 두께를 갖는 하전 입자 발생용 타깃의 제조 방법
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제 11항에 있어서,상기 타깃층은 세라믹 물질, 금속 물질 또는 유기 물질을 포함하는 하전 입자 발생용 타깃의 제조 방법
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제 11항에 있어서,상기 자기조립 단분자막층은 0
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제 11항에 있어서,상기 자기조립 단분자막층은 상기 타깃층의 상기 하나의 면 상에 형성되고,상기 자기조립 단분자막층을 형성하는 단계는 자기조립 단분자를 기화시키는 공정인 하전 입자 발생용 타깃의 제조 방법
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제 11항에 있어서,상기 자기조립 단분자막층은 상기 타깃층의 상기 양면들 상에 형성되고,상기 자기조립 단분자막층을 형성하는 단계는 자기조립 단분자가 녹아있는 용매에 상기 타깃층을 침지시키는 공정인 하전 입자 발생용 타깃의 제조 방법
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제 11항에 있어서,상기 타깃층의 상기 양면들 중 다른 하나의 면 상에 상기 레이저 빔의 진행 경로로 사용되는 관통 홀을 갖는 지지층을 형성하는 단계를 더 포함하는 하전 입자 발생용 타깃의 제조 방법
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제 1항의 하전 입자 발생용 타깃; 및상기 타깃층으로부터 하전 입자를 발생시켜 환자의 종양 부위로 투사하기 위해, 상기 자기조립 단분자막층으로 레이저 빔을 입사시키기 위한 레이저를 포함하되,상기 자기조립 단분자막층은 상기 레이저 빔에 의해 플라즈마를 형성하고, 그리고 상기 타깃층은 상기 플라즈마에 의해 상기 하전 입자를 발생시키는 하전 입자 빔 치료 장치
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제 19항에 있어서,상기 하전 입자를 상기 환자의 종양 부위로 인도하는 가이딩 구조체를 더 포함하는 하전 입자 빔 치료 장치
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제 19항에 있어서,상기 레이저 빔은 펨토 초 레이저 빔인 하전 입자 빔 치료 장치
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