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ⅡA, ⅢA, ⅢB(란타나이드 계 원소 포함)족 금속, 전이금속과 ⅣA-족 금속의 황화물 다결정 박막 제조방법에 있어서, 중성 리간드가 비공유 전자쌍을 통하여 결합된 금속 배위화합물(coordination compound)을 전구체 중의 하나로 이용한 표면 반응과 기상반응을 통하여 박막을 제조하는 것을 특징으로 하는 금속 황화물 박막 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 ⅡA, ⅢA, ⅢB (란타나이드 계 원소 포함)족 금속, 전이금속과 ⅣA-족 금속의 황화물 다결정 박막은, 아민계 리간드(L)가 배위 결합된 thd- 금속배위화합물 (M(thd)n-Lx, n=1-3, x=0
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제2항에 있어서, 상기 ⅡA, ⅢA, ⅢB (란타나이드 계 원소 포함)족 금속, 전이금속과 ⅣA-족 금속 황화물 다결정 박막은, 아민 리간드(L=NR3, R=H, methyl, ethyl, propyl group)가 배위결합된 thd-금속배위ㅣ화합물(M(thd)n-Lx, n=1-3, x=0
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제2항에 있어서, 상기 ⅡA, ⅢA, ⅢB (란타나이드 계 원소 포함)족 금속, 전이금속과 ⅣA-족 금속 황화물 다결정 박막은, 디아민 리간드(L=ethylendediamine, 1,3-diaminopropane, 1,2-diaminopropane)가 배위 결합된 thd-금속 배위화합물(M(thd)n-Lx, n=1-3, x=0
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제2항에 있어서, 상기 ⅡA, ⅢA, ⅢB (란타나이드 계 원소 포함)족 금속, 전이금속과 ⅣA-족 금속 황화물 다결정 박막은, 디아민 리간드(L=N(2-aminoethyl)-1,3-propanediamine, diethylenetriamine)가 배위 결합된 thd-금속 배위화합물(M(thd)n-Lx, n=1-3, x=0
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제1항에 있어서, 상기 ⅡA, ⅢA, ⅢB (란타나이드 계 원소 포함)족 금속, 전이금속과 ⅣA-족 금속 황화물 다결정 박막은, 아민계 리간드(포함한 N의 수=1-3)가 배위 결합된 dedtc-금속 배위화합물(M(dedtc)n-Lx, n=1-3, x=0
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제1항에 있어서, 상기 ⅡA, ⅢA, ⅢB (란타나이드 계 원소 포함)족 금속, 전이금속과 ⅣA-족 금속 황화물 다결정 박막은, 원자층 증착법(공정 압력: 1×10-7torr - 10torr)을 사용하여 성장시키는 것을 특징으로 하는 금속 황화물 박막 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 ⅡA, ⅢA, ⅢB (란타나이드 계 원소 포함)족 금속, 전이금속과 ⅣA-족 금속 황화물 다결정 박막은, 화학 증착법(공정 압력: 1×10-7torr - 10torr)을 사용하여 성장시키는 것을 특징으로 하는 금속 황화물 박막 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 ⅡA, ⅢA, ⅢB (란타나이드 계 원소 포함)족 금속, 전이금속과 ⅣA-족 금속 황화물 다결정 박막은, PR3(P=phosphorus, R=methyl, ethyl, propyl, cyclohexyl group) 중성 리간드가 배위 결합된 금속배위화합물과 황화수소(H2S)를 전구체로 한 표면 반응과 기상반응을 통하여 박막을 제조하는 것을 특징으로 하는 금속 황화물 박막 제조방법
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상기 ⅡA, ⅢA, ⅢB (란타나이드 계 원소 포함)족 금속, 전이금속과 ⅣA-족 금속 황화물 다결정 박막 제조방법에 있어서, 중성 리간드가 비공유 전자상을 통하여 결합된 금속 배위화합물(coordination compound)을 전구체 중의 하나로 이용한 표면 반응과 기상반응을 통하여 박막을 제조하는 것을 특징으로 하는 금속 황화물 박막 제조방법
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전계발광소자 형광막의 모재료로 이용되는 ⅡA족(Mg, Ca, Sr, Ba) 다결정 금속황화물(MS)과 발광중심 원소인 ⅢB (란타나이드 계 원소 포함)족 금속, 전이금속과 ⅣA-족 금속 황화물(M'S)으로 구성된 형광박막에서, 적어도 한 종류 이상의 황화물이 중성 리간드가 비공유 전자상을 통하여 결합된 금속 배위화합물과 황화수소(H2S)를 전구체로 하여 제조되는 형광막을 사용한 전계발광소자 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 다결정 MS 형광막 모재료는, 아민계 리간드(L=NR3(R=H, methyl, ethyl, propyl group), ethylenediamine, 1,3-diaminopropane, 1,2-diaminopropane, N-(2-aminoethyl)-1,3-propanediamine, diethylenetriamine)가 배위결합된 M(thd)2-Lx (x=0
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제12항에 있어서, 상기 다결정 MS 형광막 모재료는, 원자층 증착방법(공정 압력: 1×10-7torr - 10torr)을 사용하여 제조하는 것을 특징으로 하는 금속 황화물 박막 제조방법
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제12항에 있어서, 상기 다결정 MS 형광막 모재료는, 화학 증착방법 (공정 압력: 1×10-7torr - 10torr)을 사용하여 제조하는 것을 특징으로 하는 금속 황화물 박막 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 다결정 MS 형광막 모재료는, 아민계 리간드(L=NR3(R=H, methyl, ethyl, propyl group), ethylenediamine, 1,3-diaminopropane, 1,2-diaminopropane, N-(2-aminoethyl)-1,3-propanendiamine, diethylenetriamine)가 배위결합된 Ca(thd)2-Lx (x=0
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제11 또는 제15항에 있어서, 상기 다결정 MS 모재료와 발광중심 M'S 금속황화물로 구성된 형광막은, 아민계 리간드(L=NR3(R=H, methyl, ethyl, propyl group), ethylenediamine, 1,3-diaminopropane, 1,2-diaminopropane, N-(2-aminoethyl)-1,3-propanendiamine, diethylenetriamine)가 배위결합된 Pb(thd)2-Lx (x=0
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제11항에 있어서, 상기 다결정 MS 형광막 모재료는, 아민계 리간드(L=NR3(R=H, methyl, ethyl, propyl group), ethylenediamine, 1,3-diaminopropane, 1,2-diaminopropane, N-(2-aminoethyl)-1,3-propanendiamine, diethylenetriamine)가 배위결합된 Sr(thd)2-Lx (x=0
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제11 또는 제17항에 있어서, 상기 다결정 MS 모재료와 발광중심 M'S 금속황화물로 구성된 형광막은, 아민계 리간드(L=NR3(R=H, methyl, ethyl, propyl group), ethylenediamine, 1,3-diaminopropane, 1,2-diaminopropane, N-(2-aminoethyl)-1,3-propanendiamine, diethylenetriamine)가 배위결합된 Pb(thd)2-Lx (x=0
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제11 또는 제17항에 있어서, 상기 다결정 MS 모재료와 발광중심 M'S 금속황화물로 구성된 형광막은, 아민계 리간드(L=NR3(R=H, methyl, ethyl, propyl group), ethylenediamine, 1,3-diaminopropane, 1,2-diaminopropane, N-(2-aminoethyl)-1,3-propanendiamine, diethylenetriamine)가 배위결합된 Ce(thd)2-Lx (x=0
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제11항에 있어서, 상기 발광중심 M'S 금속황화물은, 아민계 리간드(L=NR3(R=H, methyl, ethyl, propyl group), ethylenediamine, 1,3-diaminopropane, 1,2-diaminopropane, N-(2-aminoethyl)-1,3-propanendiamine, diethylenetriamine)가 배위결합된 M'(thd)2-Lx (x=0
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제20항에 있어서, 상기 다결정 MS 모재료와 발광중심 M'S 금속황화물로 구성된 형광막은, 원자층 증착방법(공정 압력: 1×10-7torr)을 사용하여 제조하는 것을 특징으로 하는 금속 황화물 박막 제조방법
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제20항에 있어서, 상기 다결정 MS 모재료와 발광중심 M'S 금속황화물로 구성된 형광막은, 화학 증착방법 (공정 압력: 1×10-7torr - 10torr)을 사용하여 제조하는 것을 특징으로 하는 전계발광소자 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 다결정 MS 모재료와 발광중심 M'S 금속황화물로 구성된 형광막은, 두 종류 이상의 금속황화물(MS)이 혼합 또는 다층구조로 이루어져 있는 모재료에 한 종류 이상의 발광중심 금속황화물(M'S)로 구성된 형광막을 사용한 전계발광소자 제조방법
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전계발광소자 형광막의 모재료로 이용되는 ⅡA족(Mg, Ca, Sr, Ba) 다결정 금속황화물(MS)과 발광중심 원소인 ⅢB (란타나이드 계 원소 포함)족 금속, 전이금속과 ⅣA-족 금속황화물(M'S)으로 구성된 한 층 이상의 형광박막과, 상기 형광박막의 상, 하부에 한 층 이상의 절연층을 포함하는 전계발광 소자에 있어서, 적어도 한층 이상의 구성 박막을 중성 리간드가 비공유 전자상으로 결합된 금속 배위 화합물과 황화수고(H2S)를 전구체로 이용하여 제조하는 것을 특징으로 하는 전계발광소자 제조방법
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제24항에 있어서, 상기 전계발광 소자는, 형광박막 결정성을 향상시키고, 외부 환경으로부터 형광막을 보호하는 ZnS박막을 적어도 한 층 이상 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 전계발과오자 제조방법
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