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가스의 서로다른 동작압력범위를 갖고 작동되는 적어도 2개 이상의 반응으로의 가스압력을 주제어기에 의해 제어하는 다중반응로 압력제어장치에 있어서, 상기 각 반응로의 가스압력을 검출하여 전압신호로 변환하는 복수의 압력센서(PS1~PS5)와, 상기 압력센에 전원을 공급하고 아울러 상기 전압신호를 검출하는 전력공급 및 독출회로와, 상기 반응로에 각각 접속된 진공밸브(V1~V5)와, 구동신호를 입력하여 상기 각 진공밸브의 배기라인을 개폐하여 상기반응로의 압력을 조절하는 드로틀밸브와, 상기 드로틀밸브에 접속되어 배기라인내를 진공상태로 발생하기 위한 진공펌프와, 소정의 정보에 의해 상기 드로틀밸브의 개폐를 제어하는 드로틀밸브제어기와, 상기 압력검출신호와, 주제어기로부터 제공된 반응로의 선택 및 제어지령인 8비트 디지탈신호(D0~D7)와 선택된 반응로의 압력조절값인 5채널 아날로그신호를 제공받아서 상기 전력공급 및 독출회로와 상기 드로틀밸브제어기와의 신호전송의 기능을 수행하는 인터페이스보드를 포함한 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 다중반응로 압력제어장치
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제 1 항에 있어서, 상기 인터페이스보드는 상기 주제어기의 8비트 디지탈신호(D0-D7)중의 2개의 드로틀밸브 개방/페쇄 제어신호비트(D0-D1)를 스위칭하여 상기 드로틀밸브제어기로 제공되게 하는 아날로그 스위치와, 상기 주제어기의 디지탈신호의 제어반응로 선택신호비트(D2-D4)와 상기 전력공급 및 독출회로에서 제공된 반응로 압력신호를 입력하여 승산한 다음 상기 드로틀밸브제어기로 제공하는 아날로그 승산기와, 상기 주제어기의 디지탈신호의 압력표시 반응로 선택신호비트(D5-D7)을 입력하여 8비트의 신호로 해독할 다음 상기 전력공급 및 독출회로로 제공하는 3-대-8 디코더(3-to-8 decoder)로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 다중반응로 압력제어장치
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가스의 서로다른 동작압력범위를 갖고 작동되는 적어도 2개 이상의 반응로의 가스압력을 제어하는 주제어기와, 상기 각 반응로의 가스압력을 검출하여 전압신호로 변환하는 복수의 압력센서(PS1~PS5)와, 상기 압력센서에 전원을 공급하고 아울러 상기 전압신호를 검출하는 전력공급 및 독출회로와, 상기 반응로에 각각 접속된 진공밸브(V1~V5)와, 구동신호를 입력하여 상기 각 진공밸브의 배기라인을 개폐하여 상기 반응로의 압력을 조절하는 드로틀밸브와, 상기 드로틀밸브에 접속되어 배기라인내를 진공상태로 발생하기 위한 진공펌프와, 소정의 정보에 의해 상기 드로틀밸브의 개폐를 제어하는 드로틀밸브제어기와, 상기 입력검출신호와, 주제어기로부터 제공된 반응로의 선택 및 제어지령인 8비트 디지탈신호(D0~D7)와 선택된 반응로의 압력조절값인 5채널 아날로그신호를 제공받아서 상기 전력공급 및 독출회로와 상기 드로틀밸브제어기와의 신호전송의 기능을 수행하는 인터페이스보드를 구비한 반도체제조장치의 다중반응로 압력 제어방법에 있어서, 반응로를 선택하고 아울러 원하는 압력을 선택하는 단계와, 현재의 해당반응로의 압력을 읽어들이는 단계와, 오차가 허용치보다 큰지의 여부를 판단하여 오차가 허용치보다 큰 경우에는 제어기에 원하는 압력을 셋트시키고, 작은 경우에는 다시 반응로를 선택하고 원하는 압력을 선택하는 단계, 드로틀밸브제어기에 원하는 압력을 셋트시키는 단계와, 챔버로 들어가는 가스를 열로 아울러 진공밸브를 열어 압력제어동작을 수행하는 단계와, 현재 압력을 독출하여 아울러 오차가 허용치보다 작은지를 판단하여 작은 경우에는 가스와 진공밸브를 닫고 다음 반응로를 선택하며, 큰 경우에는 다시 상기 압력제어동작을 수행하는 단계를 포함하는 특징으로 하는 반도체 제조장치의 다중반응로 압력제어방법
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