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효율을극대화한노즐을이용한수소원자의표면흡착장치

  • 기술번호 : KST2015101399
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 시료의 표면 개스처리장치에 관한 것으로, 특히 초고진공내에서 수소분자를 뜨거워진 노즐에 충돌시켜 수소원자로 분리한 다음, 반도체나 금속의 표면에 높은 효율로 흡착시키는 효율을 극대화한 노즐을 이용한 수소원자의 표면흡착장치에 관한 것으로 전자빔 가속 방식을 직접적인 전기저항방식으로 바꾸어 구조를 단순화하였고, 수소분자를 통과시켜 수소원자상태로 분리시켜 주는 노즐의 형태를 단순원통형에서 굴곡형상으로 개량하여 충돌율을 극대화하였고, 노즐앞에 탄탈륨 카바를 부착하여 줌으로써 시료표면이 뜨거운 노즐의 방사열 때문에 가열되는 것을 방지하도록 한 것으로 수소분자가 흘러 들어와서 뜨거워진 노즐을 통해 수소원자로 분리되어 반도체나 금속으로 방출되도록 하는 수소원자방출부와 핵심부분인 노즐을 가열하기 위한 전기적인 가열장치부와 상기 노즐로부터의 방사열을 차단하기 위해 설치되는 탄탈륨 카바로 이루어진 것을 특징으로 하는 것이다.
Int. CL G21K 5/00 (2006.01) C23C 16/00 (2006.01)
CPC C23C 16/452(2013.01) C23C 16/452(2013.01) C23C 16/452(2013.01)
출원번호/일자 1019940030899 (1994.11.23)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0144823-0000 (1998.04.23)
공개번호/일자 10-1996-0019328 (1996.06.17) 문서열기
공고번호/일자 (19981001) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.11.23)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박강호 대한민국 대전직할시유성구
2 하정숙 대한민국 대전직할시유성구
3 박성주 대한민국 대전직할시유성구
4 이일항 대한민국 대전직할시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
3 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1994.11.23 수리 (Accepted) 1-1-1994-0139410-03
2 특허출원서
Patent Application		 1994.11.23 수리 (Accepted) 1-1-1994-0139408-11
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1994.11.23 수리 (Accepted) 1-1-1994-0139409-56
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.07 수리 (Accepted) 1-1-1994-0139411-48
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.20 수리 (Accepted) 1-1-1994-0139412-94
6 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 1998.03.17 수리 (Accepted) 1-1-1994-0139413-39
7 등록사정서
Decision to grant		 1998.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0077901-69
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

진공중에서 직접 전기 저항방식을 이용하여 노즐을 가열하도록 하여 내부를 통과하는 수소분자가 수소원자로 분리하도록 하는 장치로서 수소분자가 흘러 들어와서 뜨거워진 노즐을 통해 수소원자로 분리되어 방출되도록 하는 진공용기(110)와 노즐(120)을 구성요소로 하는 수소원자방출부(100)와: 상기 노즐(120)을 가열하기 위한 전기적인 가열장치부(200)와: 상기 노즐(120)로부터의 방사열을 차단하기 위해 설치되는 탄탈륨 카바(300)를 구성요소로 하는 효율을 극대화한 노즐을 이용한 수소원자의 표면 흡착장치

2 2

제 1 항에 있어서, 수소원자방출부(100)는 진공용기(110)의 끝단에 노즐(120)이 연결된 것으로서 상기 노즐(120)은 전기저항에 의한 가열장치부(200)에 의하여 1800℃ 이상으로 가열되도록 함을 특징으로 하는 효율을 극대화한 노즐을 이용한 수소원자의 표면 흡착장치

3 3

제 1항 또는 제 2항에 있어서, 노즐(120)은 지름이 2mm, 두께가 0

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP02633487 JP 일본 FAMILY
2 JP08148432 JP 일본 FAMILY
3 US05500047 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2633487 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP8148432 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 JPH08148432 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 US5500047 US 미국 DOCDBFAMILY
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