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전계효과소자의전극형성방법

  • 기술번호 : KST2015101503
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에서는, 규소류 전극, 금속 또는 이종금속 전극간의 배선공정에서 콘택 홀 형성공정을 수행하지 않고 소자의 전기적 콘택을 자동 정렬하여 형성하는 방법이 제시된다.이로써, 콘택 형성공정 및 이후의 후속 공정들에 있어서의 여유도를 증가시켜 생산수율 향상 및 이에 따른 공정 단가의 저하를 꾀할 수 있게 된다.
Int. CL H01L 27/08 (2006.01)
CPC H01L 21/823871(2013.01) H01L 21/823871(2013.01)
출원번호/일자 1019940032826 (1994.12.05)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0149889-0000 (1998.06.10)
공개번호/일자 10-1996-0026751 (1996.07.22) 문서열기
공고번호/일자 (19990320) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.12.05)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강성원 대한민국 대전직할시유성구
2 강원구 대한민국 대전직할시유성구
3 김여환 대한민국 대전직할시유성구
4 유종선 대한민국 대전직할시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 원혜중 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 서울빌딩 *층 (역삼동)
3 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
4 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1994.12.05 수리 (Accepted) 1-1-1994-0147717-46
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1994.12.05 수리 (Accepted) 1-1-1994-0147719-37
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1994.12.05 수리 (Accepted) 1-1-1994-0147718-92
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.07 수리 (Accepted) 1-1-1994-0147720-84
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.20 수리 (Accepted) 1-1-1994-0147721-29
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1998.01.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0082516-12
7 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 1998.03.26 수리 (Accepted) 1-1-1994-0147722-75
8 의견서
Written Opinion		 1998.03.26 수리 (Accepted) 1-1-1994-0147724-66
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1998.03.26 수리 (Accepted) 1-1-1994-0147723-10
10 등록사정서
Decision to grant		 1998.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0082517-57
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

소자 격리용 절연막과, 게이트 전극영역들과, 배선용 전극들과 전기적으로 각각 연결되는 소오스 전극영역 및, 드레인 전극영역이 형성 된 기판 위에 절연막(48)을 형성하는 공정; 상기 절연막(48) 중 상기 게이트 전극 영역을 에워싸는 부분만 남기고 나머지 부분을 제거하여서, 상기 소자 격리용 절연막의 표면과, 상기 소오스 전극영역 표면의 일부 및, 상기 드레인 전극영역 표면의 일부가 노출되게 하는 공정과; 배선전극용 물질을 도포하고 패터닝하여 배선전극(49)을 형성하는 공정을 포함하는 전계효과 소자의 전극형성방법

2 2

제1항에 있어서, 상기 게이트 전극영역과, 상기 배선전극간의 전기적 연결이 필요한 경우에는, 상기 절연막 제거공정은 상기 게이트 전극영역 위의 상기 절연막의 일부를 제거하여 게이트 전극영역 표면의 일부를 노출시키는 공정을 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 소자의 전극형성방법

3 3

제1항에 있어서, 상기 절연막 제거공정과 배선전극용 물질 도포공정 사이에, 상기 소오스 전극영역의 상기 노출된 표면 위와 상기 드레인 전극영역의 상기 노출된 표면 위에 실리사이드를 형성하는 공정을 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 소자의 전극형성방법

4 4

제1항 또는 제3항 중 어느 하나에 있어서, 콘택의 최소길이(L)는 상기 절연막(48)의 두께에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 전계효과 소자의 전극형성방법

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP08162636 JP 일본 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP8162636 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JPH08162636 JP 일본 DOCDBFAMILY
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