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캐소드 기판 상에 형성된 전계방출 에미터를 통해 전자를 방출시키는 캐소드;게이트 홀이 형성된 게이트 전극을 통해 상기 전계방출 에미터에 전계를 가하는 게이트;상기 캐소드로부터 발생된 전자를 집속시키는 집속 전극;상기 집속된 전자가 아노드 타겟에 충돌되어 엑스선을 발생시키는 아노드; 및상기 캐소드, 상기 게이트, 상기 집속전극 및 상기 아노드는 전기적 절연 및 기설정된 간격이 유지되도록 복수의 스페이서에 의해 적층 구조로 각각 접합되고,상기 전계방출 에미터와 상기 게이트 홀 사이의 기설정된 간격이 유지되도록 상기 전계방출 에미터와 상기 게이트 홀 사이에 절연 스페이서가 삽입되는 것을 특징으로 하는 전계방출 엑스선관 장치
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제 1 항에 있어서,상기 아노드 내지 상기 캐소드 사이의 공기를 배기관을 통해 배기하는 배기부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 엑스선관 장치
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제 3 항에 있어서,상기 배기관은,유리관 또는 핀치오프가 가능한 무산소동관인 것을 특징으로 하는 전계방출 엑스선관 장치
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제 3 항에 있어서,상기 게이트와 아노드 사이 공간의 공기는,상기 게이트 및 상기 캐소드에 각각 형성된 배기 구멍을 통해 상기 배기부를 통해 배기되는 것을 특징으로 하는 전계방출 엑스선관 장치
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제 1 항에 있어서,상기 스페이서와 접합되는 상기 캐소드, 상기 게이트 또는 상기 집속 전극 각각은,각각의 부품이 접합 물질과의 접합시 일직선으로 정렬되어 접합되도록, 상기 스페이서의 외경을 덮는 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 엑스선관 장치
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제 1 항에 있어서,상기 절연 스페이서는,세라믹으로 이루어진 것을 특징으로 하는 전계방출 엑스선관 장치
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제 1 항에 있어서,상기 절연 스페이서는,프릿(Frit) 유리 또는 브레이징 필러(Brazing Filler)로 이루어진 접합 물질에 의해 상기 캐소드, 상기 게이트, 상기 집속전극 및 상기 아노드와 각각 접합되는 것을 특징으로 하는 전계방출 엑스선관 장치
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제 1 항에 있어서,상기 캐소드, 상기 게이트 또는 상기 집속 전극은,코바(Kovar) 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 전계방출 엑스선관 장치
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제 1 항에 있어서,상기 아노드는,상기 집속된 전자의 통과를 허용하는 구멍이 뚫린 백 스케터링(Back Scattering) 방지 캡을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 엑스선관 장치
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제 1 항에 있어서,상기 아노드 타겟은,텅스텐 또는 몰리브덴으로 이루어진 것을 특징으로 하는 전계방출 엑스선관 장치
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