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광원으로부터 도출된 광을 기준 반사경과 샘플 반사경으로 분파하여 조사하고, 상기 기준 반사경에서 반사된 광과, 상기 샘플 반사경을 거쳐 측정 대상물로부터 반사된 광의 경로차에 의해 발생된 간섭신호를 통하여 측정 대상물의 간섭단층 영상을 획득하는 간섭단층 영상 장치에 있어서,상기 기준 반사경은적어도 두 개 이상의 반사면을 가진 다중 반사면 반사경으로서, 각 반사면에서 반사된 광이 서로 반파장 혹은 그 홀수배의 위상 차이를 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 광학 간섭단층 영상 장치
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제 1 항에 있어서,상기 기준 반사경은 제 1 반사면; 및상기 제 1 반사면과 상기 광원의 중심 파장의 1/4 길이 혹은 그의 홀수 배의 높이 차이를 가지는 적어도 하나 이상의 제 2 반사면을 구비한 것을 특징으로 하는 광학 간섭단층 영상 장치
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3
제 1 항에 있어서,상기 기준 반사경은 세개의 반사면을 가지며, 제 1 반사면과 제 2 및 제 3 반사면의 면적비는 상기 간섭 신호의 중심 신호의 광 강도와 첫 번째 미세 변조 신호 광 강도의 비에 비례하여 결정되는 것을 특징으로 하는 광학 간섭단층 영상 장치
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제 1 항에 있어서,상기 기준 반사경은 적어도 두 개 이상의 반사면을 구비한 단위 패턴들이 상기 기준 반사경의 표면에 분포하는 것에 의해서 구성되는 것을 특징으로 하는 광학 간섭단층 영상 장치
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제 4 항에 있어서,상기 단위 패턴의 크기는 상기 광원의 중심 파장에 비하여 큰 것을 특징으로 하는 광학 간섭단층 영상 장치
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광원 및 광감지부를 포함하는 광학 간섭 영상 장치로서,상기 광원으로부터 도출된 광을 진폭 분할하는 광 분파기;상기 광 분파기로부터 분할된 광을 반사하여, 상기 분할된 광의 반사광을 상기 광감지부로 입사시키는, 다중 반사면을 구비한 기준 반사경;상기 광 분파기로부터 분할된 광을 측정 대상의 표면으로 조사하며, 상기 측정대상으로부터 반사된 광을 상기 광감지부로 입사시키는, 샘플 반사경; 및상기 기준 반사경를 상기 분할된 광 경로 축상으로 이동시켜 상기 분할된 광의 반사광 경로를 조절하며, 상기 샘플 반사경을 회전시켜 상기 측정 대상의 표면에 조사되는 광을 이동시키는 제어부를 포함하고,상기 기준 반사경은적어도 2개 이상의 반사면을 가진 다층 구조의 반사경으로서, 각 반사면에서 반사된 광이 서로 반파장 혹은 그 홀수배의 위상 차이를 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 광학 간섭 영상 장치
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제 6 항에 있어서,상기 기준 반사경은 제 1 반사면; 및상기 제 1 반사면과 상기 광원의 중심 파장의 1/4 길이 혹은 그의 홀수 배의 높이 차이를 가지는 적어도 하나 이상의 제 2 반사면을 구비한 것을 특징으로 하는 광학 간섭단층 영상 장치
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제 6 항에 있어서,상기 기준 반사경은 세개의 반사면을 가지며, 제 1 반사면과 제 2 및 제 3 반사면의 면적비는 상기 간섭 신호의 중심 신호의 광 강도와 첫 번째 미세 변조 신호 광 강도의 비에 비례하여 결정되는 것을 특징으로 하는 광학 간섭단층 영상 장치
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제 6 항에 있어서,상기 기준 반사경은 적어도 두 개 이상의 반사면을 구비한 단위 패턴들이 상기 기준 반사경의 표면에 분포하는 것에 의해서 구성되는 것을 특징으로 하는 광학 간섭단층 영상 장치
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제 9 항에 있어서,상기 단위 패턴의 크기는 상기 광원의 중심 파장에 비하여 큰 것을 특징으로 하는 광학 간섭단층 영상 장치
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제 6 항에 있어서,상기 광 감지부는 상기 기준 반사경과 상기 샘플 반사경으로부터의 광을 집속하는 집속렌즈;상기 집속렌즈를 거친 광의 광량을 조절하는 조리개; 및상기 조리개를 거친 광을 검출하는 광 감지기를 포함하여 구성되는 광학 간섭단층 영상 장치
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광원으로부터 도출된 광을 기준 반사경과 샘플 반사경으로 분파하여 조사하고, 상기 기준 반사경에 반사된 광과, 상기 샘플 반사경을 거쳐 측정 대상물로부터 반사된 광의 경로차에 의해 발생된 간섭신호를 통하여 측정 대상물의 간섭단층 영상을 획득하는 간섭단층 영상 장치에 적용되는 기준 반사경으로서,제 1 반사면; 및상기 제 1 반사면과 상기 광원의 중심 파장의 1/4 길이 혹은 그의 홀수배의 높이 차이를 가지는 적어도 하나 이상의 제 2 반사면을 구비한 것을 특징으로 하는 기준 반사경
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제 12 항에 있어서,상기 기준 반사경은 세개의 반사면을 가지며, 제 1 반사면과 제 2 및 제 3 반사면의 면적비는 상기 간섭 신호의 중심 신호의 광 강도와 첫 번째 미세 변조 신호 광 강도의 비에 비례하여 결정되는 것을 특징으로 하는 기준 반사경
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제 12 항에 있어서,상기 기준 반사경은 적어도 두 개 이상의 반사면을 구비한 단위 패턴들이 상기 기준 반사경의 표면에 분포하는 것에 의해서 구성되는 것을 특징으로 하는 기준 반사경
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제 14 항에 있어서,상기 단위 패턴의 크기는 상기 광원의 중심 파장에 비하여 큰 것을 특징으로 하는 기준 반사경
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