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마이크로 자이로스코프를 이용한 각속도 측정 방법에 있어서, 가진 전극에 고주파수의 전기적 신호를 인가하여 압전 박판을 진동시켜 직선적 진행파를 발생시키는 단계와, 진동하는 압전 박판에 외부 회전 각속도를 인가하여 코리올리의 힘을 발생시키는 단계와, 상기 코리올리 힘에 의하여 변화되는 상기 진행파의 위상차나 속도지연, 파형의 일그러짐 등 진행파의 특성을 검출 전극에서 전기적 신호로 측정하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프를 이용한 각속도 측정 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 압전 박판은 비대칭 형태로 진동하는 진행파를 이용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프를 이용한 각속도 측정 방법
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마이크로 자이로스코프에 있어서, 중앙부에 공동이 형성되어 있는 실리콘 기판과, 상기 실리콘 기판 상부에 증착되되, 구조층, 및 압전 박막이 순차적으로 증착되는 구조를 갖는 압전 박판과, 상기 압전 박막 상의 한쪽 단부에 형성되며, 고주파수의 전기적 신호에 의하여 상기 압전 박판을 진동시켜 진행파를 발생시키는 가진 전극과, 상기 가진 전극의 반대쪽 단부에 형성된 검출 전극으로 이루어져, 상기 압전 박판에 외부 회전 각속도를 인가하여 발생되는 코리올리 힘에 의한 진행파의 파형 변화를 상기 검출 전극으로 검출되도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프
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제 3 항에 있어서, 상기 가진 전극은 외부의 신호 수단과 전기적으로 접속되어 고주파수의 전기적 신호가 인가되는 접속부와, 상기 접속부 선단 일측에 서로 수평 상태로 구성되는 다수의 전극부로 이루어진 제1전극과, 상기 제1전극의 접속부와 서로 이격되며 외부의 신호 수단과 전기적으로 접속되어 고주파수의 전기전 신호가 인가되는 접속부와, 상기 접속부 선단 일측에 서로 수평 상태로 구성되되, 상기 제1전극의 각 전극부의 사이 사이에 배치되는 다수의 전극부로 이루어진 제2전극으로 이루어지고, 상기 검출 전극은 외부의 검출 수단과 접속되는 접속부와, 상기 접속부 선단 일측에 서로 수평 상태로 구성되는 다수의 전극부의 이루어진 제1전극과, 상기 제l전극의 접속부와 서로 이격되어 외부의 검출 수단과 접속되는 접속부와, 상기 접속부 선단 일측에 서로 수평 상태로 구성되되, 상기 제1전극의 각 전극부의 사이사이에 배치되는 다수의 전극부로 이루어진 제2전극으로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프
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제 3 항에 있어서, 상기 구조층과 압전 박막 사이에 하부 전극이 추가된 박판 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프
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제 3 항에 있어서, 상기 압전 박판은 비대칭 형태로 진동하는 진행파를 이용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프
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제 3 항에 있어서, 상기 하부 전극은 플레티늄(Pt), 알루미늄(Al) 및 금(Au) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프
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제 3 항에 있어서, 상기 압전 박막은 PZT, ZnO 및 AlN 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프
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마이크로 자이로스코프의 제조 방법에 있어서, 중앙부에 공동이 형성된 실리콘 기판의 상기 공동에 희생층을 증착한 후 평탄화시켜 상기 실리콘 기판 상부를 평탄화 시키는 단계와, 상기 희생층을 포함하는 전체 구조 상부에 구조층을 증착한 후, 상기 구조층의 선택된 영역을 식각하여 식각된 영역을 통하여 희생층을 제거하는 단계와, 상기 구조층 상부에 하부 전극 및 압전 박막을 순차적으로 증착시켜 압전 박판을 형성하는 단계와, 상기 압전 박막 상의 한쪽 단부에 가진 전극을 증착하고 제 3 가진 전극을 상기 하부 전극과 전기적으로 접속시키는 단계와, 상기 가진 전극의 반대쪽에 검출 전극을 증착하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프의 제조 방법
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제 9 항에 있어서, 상기 구조층은 실리콘 질화막 또는 다결정 실리콘막인 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프의 제조 방법
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