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다공질 실리콘 웨이퍼 성형 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2015103115
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 기판인 단결정 실리콘 웨이퍼를 불산과 과산화수소수를 이용한 전기분해의 방법으로 실리콘 웨이퍼 표면에 절연막을 도포하지 않고 균일한 다공질의 실리콘 웨이퍼로 만드는 선택적 다공질 실리콘 형성방법에 관한 것이다.이를 위해 본 발명은 전극의 일면에 산화막으로 패턴을 형성하는 스텝과, 상기 전극을 케이스의 내부에 삽입하는 스텝과, 상기 케이스의 내부에 불산과 과산화 수소수의 비율이 1:100으로 혼합한 전기 분해용액을 담는 스텝과, 상기 케이스의 내부에 또 다른 전극이 내장되며 일측면에는 실리콘 웨이퍼가 고정되고 내부에는 불산과 과산화 수소수의 비율이 1:100으로 혼합된 전기 도통용액이 담겨진 함실을 삽입하는 스텝과, 상기 전극을 실리콘 웨이퍼에 근접시키는 스텝과, 각 전극에 전원을 인가하는 스텝으로 된 것이다.
Int. CL H01L 21/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1019960072267 (1996.12.26)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-0250208-0000 (2000.01.03)
공개번호/일자 10-1998-0053198 (1998.09.25) 문서열기
공고번호/일자 (20000401) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.08.29)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김홍락 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 강성건 대한민국 경상북도 포항시 남구
3 류근걸 대한민국 경상북도 포항시 남구
4 김동수 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍재일 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *** (삼성동) 삼영빌딩 *층(홍앤홍국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1996.12.26 수리 (Accepted) 1-1-1996-0238355-03
2 특허출원서
Patent Application
1996.12.26 수리 (Accepted) 1-1-1996-0238354-57
3 출원심사청구서
Request for Examination
1997.08.29 수리 (Accepted) 1-1-1996-0238356-48
4 등록사정서
Decision to grant
1999.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0364534-07
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2000.01.21 수리 (Accepted) 4-1-2000-0007991-58
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.13 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065864-86
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.06.15 수리 (Accepted) 4-1-2004-0025494-38
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2005.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2005-5020373-24
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
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번호 청구항
1 1

전극(20)의 일면에 산화막으로 패턴(22)을 형성하는 스텝과, 상기 전극(20)을 케이스(10)의 내부에 삽입하는 스텝과, 상기 케이스(10)의 내부에 불산과 과산화 수소수의 비율이 1:100으로 혼합한 전기 분해용액(16)을 담는 스텝과, 상기 케이스(10)의 내부에 또 다른 전극(50)이 내장되며 일측면에는 실리콘 웨이퍼(60)가 고정되고 내부에는 불산과 과산화 수소수의 비율이 1:100으로 혼합된 전기 도통용액(42)이 담겨진 함실(40)을 삽입하는 스텝과, 상기 전극(20)을 실리콘 웨이퍼(60)에 근접시키는 스텝과, 각 전극(20)(50)에 전원을 인가하는 스텝으로 됨을 특징으로 하는 다공질 실리콘 웨이퍼 성형 방법

2 2

전기 분해 용액이 담겨지는 케이스(10)의 내부에 설치된 지지대(14)에 고정되며 일면에는 산화막으로 패턴(22)이 형성된 전극(20)과, 상기 전극(20)의 일측에 설치되며 내부에는 또 다른 전극(50)이 삽입되고 일측벽에는 실리콘 웨이퍼(60)가 고정되며 전기 도통용액(42)이 담겨지는 함실(40)과, 상기 각 전극(20)(50)에 전원을 인가하는 전원부(30)로 구성됨을 특징으로 하는 다공질 실리콘 웨이퍼 성형 장치

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US05928506 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN1074078 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN1186143 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 TW365546 TW 대만 DOCDBFAMILY
4 US5928506 US 미국 DOCDBFAMILY
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