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아이티오진공증착용타켓의제조방법

  • 기술번호 : KST2015103254
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 높은 전도도와 투명성을 갖음으로써 액정화면, 태양전지에 사용되는 ITO소재의 진공증착용 타켓의 제조방법에 관한 것이며; 그 목적은 종래의 세라믹 소결 공정보다 간단한 폭발용사방법으로 고밀도의 특성을 갖는 진공증착용 타켓을 제조하는 방법을 제공함에 있다.상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 금속기판에 분말을 이용하여 코팅층을 형성하는 방법에 있어서, 상기 금속기판을 블라스팅(blasting)한 다음, 블라스팅된 금속기판에 10-20㎛ 크기의 In2O3와 SnO2분말을 900m/s 이상의 고속으로 폭발용사하여 코팅층을 형성함을 특징으로 하는 ITO 진공증착용 타켓의 제조방법을 그 기술적 요지로 한다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 4/00 (2006.01)
CPC C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01)
출원번호/일자 1019970069258 (1997.12.16)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-0262669-0000 (2000.05.03)
공개번호/일자 10-1999-0050195 (1999.07.05) 문서열기
공고번호/일자 (20000801) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.12.16)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김문철 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 김선복 대한민국 경상북도 포항시 남구
3 도병무 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손원 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)(특허법인씨엔에스)
2 이성동 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)(특허법인씨엔에스)
3 전준항 대한민국 서울특별시 강남구 언주로**길 **, 대림아크로텔 ****호 (도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.12.16 수리 (Accepted) 1-1-1997-0216758-18
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.12.16 수리 (Accepted) 1-1-1997-0216757-73
3 특허출원서
Patent Application		 1997.12.16 수리 (Accepted) 1-1-1997-0216756-27
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1999.12.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0373481-86
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.01.21 수리 (Accepted) 4-1-2000-0007991-58
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2000.01.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2000-5022786-93
7 의견서
Written Opinion		 2000.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2000-5022785-47
8 등록사정서
Decision to grant		 2000.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0050548-42
9 FD제출서
FD Submission		 2000.05.03 수리 (Accepted) 2-1-2000-5072584-62
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.13 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065864-86
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.06.15 수리 (Accepted) 4-1-2004-0025494-38
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2005-5020373-24
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

(정정)금속기판에 분말을 이용하여 코팅층을 형성하는 방법에 있어서, 상기 금속기판을 블라스팅(blasting)한 다음, 블라스팅된 금속기판에 10-20㎛ 크기의 In2O3와 SnO2분말을 900m/s 이상의 고속으로 폭발용사하여 코팅층을 형성함을 특징으로 하는 ITO 진공증착용 타켓의 제조방법

2 2

제 1항에 있어서, 상기 금속기판은 구리기판임을 특징으로 하는 방법

3 3

(삭제)
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.