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우수한 냉각기능을 갖는 웨이퍼 고정용 정전척

  • 기술번호 : KST2015103963
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼 식각공정에서 사용되는 정전척(Electrostatic Chuck)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼의 온도균일성을 극대화하기 위하여 정밀하게 방사부채꼴로 냉각가스라인을 구비하는 정전척에 관한 것이다.웨이퍼, 반도체, 정전척, 냉각, 식각
Int. CL H01L 21/306 (2006.01)
CPC H01L 21/6833(2013.01) H01L 21/6833(2013.01)
출원번호/일자 1020020083473 (2002.12.24)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원, (주)단단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2004-0056887 (2004.07.01) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.12.24)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
2 (주)단단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안지훈 대한민국 경상북도포항시북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조인제 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길**, *층(역삼동)(특허법인뉴코리아)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2002-0427890-17
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.06.15 수리 (Accepted) 4-1-2004-0025494-38
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0348285-33
4 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2004.11.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0469237-12
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2005-5020373-24
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.18 수리 (Accepted) 4-1-2009-0029493-69
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-0015015-56
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

식각공정에서 웨이퍼(1)를 고정하면서 내부의 냉각가스라인(6)을 통해 냉각가스를 공급하여 상기 웨이퍼(1)를 냉각시키는 정전척(2)에 있어서,

상기 냉각가스라인(6)을 방사부채꼴형으로 정밀하게 구비하는 것을 특징으로 하는 우수한 냉각기능을 갖는 웨이퍼 고정용 정전척

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.