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새도우 마스크용 인바소재 및 그 에칭특성 판정방법

  • 기술번호 : KST2015104025
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 에칭시 균일한 크기의 공경이 형성될 뿐만 아니라 에칭 편차가 적은 새도우 마스크용으로 사용될 수 있는 인바소재 및 그 소재를 판정하는 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다. 본 발명에 따르면, 인바합금 박판면의 수직방향에 3kW CuKα X-Ray를 사용하여 Shurtz 반사법으로 (111), (200), (220)면에 대하여 회절강도를 각각 측정하여 (111)면의 회절강도를 I(111), (200)면의 회절강도를 I(200), (220)면의 회절강도를 I(220)라 한 다음, 이들 값으로부터 특정의 집합조직계수(The coefficient of texture) R 값과 F 값을 하기의 식으로 정의하고,R 값이 0.4 ~ 0.7이내이고, F 값이 0.2 ~ 0.3이내이면 에칭 특성이 양호한 안바소재로 판정하는 것이다.
Int. CL H01J 9/42 (2006.01)
CPC H01J 9/42(2013.01) H01J 9/42(2013.01) H01J 9/42(2013.01)
출원번호/일자 1020000049748 (2000.08.25)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-0442637-0000 (2004.07.22)
공개번호/일자 10-2002-0016444 (2002.03.04) 문서열기
공고번호/일자 (20040802) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.03.06)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김영덕 대한민국 경상북도포항시남구
2 김광일 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전영일 대한민국 광주 북구 첨단과기로***번길**, ***호(오룡동)(특허법인세아 (광주분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2000-0179342-33
2 출원심사청구서
Request for Examination		 2002.03.06 수리 (Accepted) 1-1-2002-0065901-30
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.13 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065864-86
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2003-0051454-48
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.12.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0498650-90
7 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.02.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2004-0058982-22
8 의견서
Written Opinion		 2004.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2004-0058983-78
9 등록결정서
Decision to grant		 2004.05.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0180974-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.06.15 수리 (Accepted) 4-1-2004-0025494-38
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2005-5020373-24
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
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번호 청구항
1 1

칼라 음극선관용 새도우 마스크(Shadow Mask) 소재로 사용되는 인바(Invar)소재에 있어서,

상기 인바소재의 (111), (200), (220)면에 대하여 회절강도를 각각 측정하여, (111)면의 회절강도를 I(111), (200)면의 회절강도를 I(200), (220)면의 회절강도를 I(220)라 한 다음, 이들 값으로부터 특정의 집합조직계수(The coefficient of texture) R 값과 F 값을 하기의 식으로 정의하고,

2

칼라 음극선관용 새도우 마스크(Shadow Mask) 소재로 사용되는 인바(Invar)소재의 에칭특성을 평가하는 방법에 있어서,

상기 인바소재의 (111), (200), (220)면에 대하여 회절강도를 각각 측정하여, (111)면의 회절강도를 I(111), (200)면의 회절강도를 I(200), (220)면의 회절강도를 I(220)라 한 다음, 이들 값으로부터 특정의 집합조직계수(The coefficient of texture) R 값과 F 값을 하기의 식으로 정의하고,

3

제2항에 있어서, 상기 R값이 0

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.