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플라즈마 발생용 복합소재 전극 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015104159
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 교류 플라즈마 발생장치의 전극을 세라믹과 금속의 복합소재로 하여 대기압하에서도 아크 방전(Arc discharge)을 방지하는 플라즈마 발생용 복합소재 전극 및 그 제조방법에 관한 것으로, 교류 플라즈마 발생용 전극에 있어서, 상기 전극의 표면은 절연층과 금속층이 축차적으로 형성된 다층 또는 절연물질과 금속의 혼합층으로 구성되는 것을 특징으로 하며, 또한 플라즈마 발생용 전극의 제조에 있어서, 상기 전극의 표면에 용사코팅 방법에 의하여 절연층과 금속층을 축차적으로 코팅시킨 다층을 형성시키거나, 절연물질과 금속분말의 혼합물을 용사코팅하여 혼합층을 형성시키는 것을 특징으로 하여, 낮은 전압 하에서도 전류량을 증가시켜 플라즈마 발생 효율을 현저하게 향상시킬 수 있으며 용사코팅방법에 사용하여 제조할 수 있으므로 제조공정을 단순화시킬 수 있으며 제조단가를 현저히 낮출 수 있는 효과가 있다.고주파 전원, 대기압 플라즈마, 복합소재 전극, 다층 전극, 혼합층 전극, 용사코팅
Int. CL C23C 28/00 (2006.01)
CPC C23C 4/073(2013.01) C23C 4/073(2013.01) C23C 4/073(2013.01) C23C 4/073(2013.01) C23C 4/073(2013.01)
출원번호/일자 1020000063430 (2000.10.27)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-0460601-0000 (2004.11.30)
공개번호/일자 10-2002-0032780 (2002.05.04) 문서열기
공고번호/일자 (20041208) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.03.05)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김문철 대한민국 경상북도포항시남구
2 남궁정 대한민국 경상북도경주시
3 도병무 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재춘 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, ***호 (역삼동, 대우디오빌플러스)(샘터국제특허법률사무소)
2 특허법인맥 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, *층 (양재동, 화승빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2000-0226047-61
2 출원심사청구서
Request for Examination		 2002.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2002-5058467-90
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.13 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065864-86
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.09.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.10.17 수리 (Accepted) 9-1-2003-0049438-14
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0173699-72
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.06.15 수리 (Accepted) 4-1-2004-0025494-38
8 의견서
Written Opinion		 2004.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2004-0283881-31
9 등록결정서
Decision to grant		 2004.09.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0397202-03
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2005-5020373-24
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
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번호 청구항
1 1

교류 플라즈마 발생용 전극에 있어서, 상기 전극의 표면은 절연층과 금속층이 축차적으로 코팅된 다층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생용 복합소재 전극

2 2

교류 플라즈마 발생용 전극에 있어서, 상기 전극의 표면은 절연물질과 금속의 혼합층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생용 복합소재 전극

3 3

교류 플라즈마 발생용 전극의 제조에 있어서, 상기 전극의 표면에 용사코팅 방법에 의하여 절연층과 금속층을 축차적으로 코팅시킨 다층을 형성시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생용 복합소재 전극의 제조방법

4 4

교류 플라즈마 발생용 전극의 제조에 있어서, 상기 전극의 표면에 절연물질과 금속분말의 혼합물을 용사코팅하여 혼합층을 형성시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생용 복합소재 전극의 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.