요약 | 본 발명은 반도체 등의 제조 시 사용되는 대형이며 고순도의 세라믹 프레임 치구의 고정용 세라믹 핀을 제조하는 방법에 관한 것이다.이에 본 발명은, 세라믹 소결체를 제조하는 방법에 있어서, 알루미나 분말에 폴리에틸렌 글리콜을 10-20% 첨가하여 혼합하여 성형한 후, 저온 및 고온에서 2단계에 걸쳐 소결하는 것을 특징으로 하는 고직경 길이비의 세라믹 소결체 제조방법을 제공한다.또한, 상기 성형 시 300-400gf/mm2의 압력으로 압축 성형하는 것을 특징으로 하며, 상기 2단계에 걸친 소결은 600-800℃에서 40-70시간동안 1단계 소결하고, 1400-1650℃에서 0.5-5시간동안 2단계 소결하는 것을 특징으로 한다.세라믹, 직경길이비, 소결체 |
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Int. CL | C04B 35/10 (2006.01) C04B 35/64 (2006.01) |
CPC | C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01) C04B 35/10(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020000080389 (2000.12.22) |
출원인 | 재단법인 포항산업과학연구원 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2002-0051377 (2002.06.29) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 취하 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
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관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | N |
심사청구항수 | 3 |