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실리카질 슬릿형 노즐의 제조방법에 있어서, a) 초미세 퓸드 비정질 실리카 분말을 물에 분산시켜 수계 실리카 슬러리를 제조하는 단계; b) 상기 제조된 실리카 슬러리에 염기성 수용액을 첨가하여 pH 10 이상으로 조절하여 균일하게 재분산시키는 단계; c) 상기 분산된 실리카 슬러리에 응고제로서 pH 강하제를 첨가하여 균일하게 혼합하는 단계; d) pH 강하제를 첨가/혼합한 직후 응고(겔화) 반응이 일어나기 전에 유동성의 슬러리를 원하는 형태의 몰드내에 주입하여 몰드내에서 슬러리를 응고시켜 슬릿형 노즐 성형체를 제조하는 단계; 및 e) 제조된 습윤 실리카질 노즐 성형체를 건조 후, 하소 및 공기중 소성 공정을 거쳐 실리카질 슬릿형 노즐을 제조하는 단계 를 포함하는 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 퓸드 실리카의 비표면적이 20∼300m2/g인 실리카질 슬릿형 노즐의 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 퓸드 실리카의 비표면적이 40∼60m2/g인 실리카질 슬릿형 노즐의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 퓸드 실리카의 평균 입자크기가 7∼100nm 인 실리카질 슬릿형 노즐의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 퓸드 실리카의 평균 입자크기가 30∼50nm 인 실리카질 슬릿형 노즐의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 퓸드 실리카의 첨가량은 슬러리에 대하여 40∼60 중량%인 실리카질 슬릿형 노즐의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 염기성 수용액이 테트라메틸암모늄하이드록사이드(TMAH) 또는 테트라에틸암모늄하이드록사이드(TEAH) 수용액인 실리카질 슬릿형 노즐의 제조방법
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제1항에 있어서, pH 강하제는 메틸 포메이트, 에틸 락테이트, 및 포름아미드로 이루어진 군에서 선택되는 실리카질 슬릿형 노즐의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 pH 강하제는 실리카 슬러리의 pH를 9
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제1항에 있어서, 상기 소성단계의 소결온도가 1000℃∼1400℃인 실리카질 슬릿형 노즐의 제조방법
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