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금속 무늬 판재의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015104392
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진공실내의 기판홀더에 장착된 시편의 기판에 300Å∼ 500Å 두께의 산화물이나 유기물을 증착하는 증착 공정과, 상기 공정에서 증착 공정이 완료되면 진공실내의 진공도를 6 ×10-2 ∼ 6 ×10-3 토르가 되도록 진공도를 조절하는 진공도 조절공정과, 상기 진공도 조절 공정에서 설정된 진공도가 되면 기판에 -300V ∼ -500V 의 전압을 인가하여 글로 방전을 유도하는 글로 방전 공정과, 상기 글로 방전에서 발생하는 아크 방전을 제어하여 패턴 무늬를 형성하는 무늬형성과정으로 이루어져, 플라즈마 방전인 글로 방전 중에 발생하는 아크 방전을 제어하여 방전 무늬를 형성하는 금속 무늬 판재의 제조 방법에 관한 것이다. 진공실, 기판, 기판 홀더, 대향전극, 전원공급부, 배기구. 글로 방전
Int. CL C23C 14/24 (2006.01)
CPC C23C 14/325(2013.01) C23C 14/325(2013.01)
출원번호/일자 1020010062447 (2001.10.10)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원, 주식회사 포스코
등록번호/일자 10-0779247-0000 (2007.11.19)
공개번호/일자 10-2003-0029753 (2003.04.16) 문서열기
공고번호/일자 (20071123) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.10.10)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
2 주식회사 포스코 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정재인 대한민국 경상북도포항시남구
2 정우철 대한민국 경상북도포항시남구
3 정창영 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이홍길 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 (역삼동, 용마빌딩)(신진국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
2 주식회사 포스코 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2001.10.10 수리 (Accepted) 1-1-2001-0259453-92
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.03.21 수리 (Accepted) 4-1-2002-0027128-10
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2002-0043593-03
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2002-0043602-26
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.13 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065864-86
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.06.15 수리 (Accepted) 4-1-2004-0025494-38
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2005.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2005-5020373-24
8 출원심사청구서
Request for Examination
2006.10.10 수리 (Accepted) 1-1-2006-0730042-95
9 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.05.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
10 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.06.12 수리 (Accepted) 9-1-2007-0033292-75
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.08.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0441947-79
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2007-0735863-58
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.10.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0735862-13
14 등록결정서
Decision to grant
2007.10.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0565553-68
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.04.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5077322-80
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5200802-82
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-5204006-48
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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진공실내의 기판홀더에 장착된 시편의 기판에 300Å∼ 500Å 두께의 산화물이나 유기물을 증착하는 증착 공정과, 상기 공정에서 증착 공정이 완료되면 진공실내의 진공도를 6 ×10-2 ∼ 6 ×10-3 토르가 되도록 진공도를 조절하는 진공도 조절공정과, 상기 진공도 조절 공정에서 설정된 진공도가 되면 기판에 -100V ∼ -1000V 의 음의 전압을 인가하여 글로방전을 유도하는 글로방전 공정과, 상기 글로 방전에서 발생하는 아크 방전을 제어하여 패턴 무늬를 형성하는 무늬형성과정으로 이루어 진 것을 특징으로 하는 금속 무늬 판재의 제조 방법
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