요약 | 본 발명은 Al, Cu, Ni, Ag 박막 등의 정밀금속소재를 접합하거나 반도체 칩을 기판에 접합할 때 초음파와 레이저를 병용하여 소재를 접합하는 방법에 관한 것으로, 파장이 1000nm 이하로 짧은 레이저를 초점을 맞추지 않은 상태 또는 초점을 맞추지 않고 접합될 소재의 비교적 넓은 부위를 가열함과 동시에, 초음파만을 적용하여 접합하는 경우에 소요되는 에너지의 1/2 이하의 저 에너지의 초음파를 적용하여 접합하는 것을 특징으로 하는 초음파/레이저 병용 접합방법을 제공한다. |
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Int. CL | B23K 28/02 (2014.01) |
CPC | B23K 28/02(2013.01) B23K 28/02(2013.01) B23K 28/02(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020010082588 (2001.12.21) |
출원인 | 재단법인 포항산업과학연구원 |
등록번호/일자 | 10-0469293-0000 (2005.01.21) |
공개번호/일자 | 10-2003-0052576 (2003.06.27) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20050202) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2001.12.21) |
심사청구항수 | 1 |