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시편 이송로더(4)를 통해, 시편이 장입된 시편홀더를 분위기 열처리 하는 튜브 열처리로(2)에 있어서, 적어도, 시편의 열처리를 위하여 게이트 밸브(6)와 분위기 열처리 예비 챔버(1)를 포함하여 구성되는데, 상기 게이브 밸브(6)는, 시편 이송로더(4)에 의해 시편홀더가 분위기 열처리 예비챔버(1) 또는 튜브 열처리로(2)로 각각 이동되어 열처리되도록, 튜브 열처리로 (2)의 시편홀더가 진입 또는 인출되는 출입구측에 연결설치되며, 상기 분위기 열처리 예비챔버(1)는, 상기 게이트 밸브(6)에 연결되어 있되, 시편의 열처리 순서에 따라 챔버 내부의 분위기가 콘트롤되도록, 시편홀더를 입출시키는 도어(5)와, 불활성 가스 유입부(11)와, 시편의 열처리를 위한 분위기 가스를 진입시키는 분위기 가스 유입부(13)와, 챔버 내부의 가스를 배출시키는 가스 배출부(12)와, 도어(5)를 통하여 인입된 시편홀더를 전후로 이동시키는 시편홀더 이송판(8) 및 시편홀더 이송로더(9)와, 내부에 장입된 시편홀더의 움직임과 상태를 파악하는 관찰창(7)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 분위기 열처리 예비챔버를 가지는 튜브 열처리로
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