요약 | 본 발명은 진공 게이지에 의해서 일정 레벨의 진공도를 유지하는 진공 챔버와, 상기 진공 챔버의 저변에 설치되어 시편을 고정시키는 홀더와, 상기 시편에 레이저를 방출하는 레이저발생부와, 상기 시편에서 발생되는 플라즈마에서 나오는 복사선을 집광시키는 제 2, 3 집광 렌즈와, 상기 제 2, 3 집광 렌즈에서 집광된 복사선 중에서 정해진 파장만을 검출하는 분광기와, 상기 분광기에서 출력된 데이터를 이용하여 성분함량을 계산하고 측정하는 컴퓨터로 구성되어, 시편 표면에 유도된 플라즈마의 외부지점을 측정하여 배경신호의 영향이 없고 복사선의 세기가 큰측정거리에서 알루미늄 합금의 성분 함량을 측정하는 알루미늄 합금의 레이저 유도 플라즈마 측정 장치에 관한 것이다.레이저 발생부, 반사부, 집광 렌즈, 진공 챔버, 시편 |
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Int. CL | G01N 21/63 (2006.01) |
CPC | G01N 21/718(2013.01)G01N 21/718(2013.01)G01N 21/718(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020010083139 (2001.12.22) |
출원인 | 주식회사 포스코, 재단법인 포항산업과학연구원 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2003-0053101 (2003.06.28) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 거절 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2006.12.04) |
심사청구항수 | 2 |